ngrohës veshjeje qeramike me karbid silikoni

Veterinari-KinëQeramikë karabit silikoniVeshje është një shtresë mbrojtëse me performancë të lartë e bërë nga material jashtëzakonisht i fortë dhe rezistent ndaj konsumimit.karbid silikoni (SiC)material, i cili ofron rezistencë të shkëlqyer ndaj korrozionit kimik dhe stabilitet në temperatura të larta. Këto karakteristika janë thelbësore në prodhimin e gjysmëpërçuesve, kështu qëVeshje Qeramike e Karbitit të Silikonitpërdoret gjerësisht në komponentët kryesorë të pajisjeve të prodhimit të gjysmëpërçuesve.

Roli specifik i Vet-ChinaQeramikë karabit silikoniVeshje në prodhimin e gjysmëpërçuesve është si më poshtë:

Përmirësoni qëndrueshmërinë e pajisjeve:Veshje Qeramike me Karbit Silici Veshje Qeramike me Karbit Silici ofron mbrojtje të shkëlqyer sipërfaqësore për pajisjet e prodhimit të gjysmëpërçuesve me fortësinë dhe rezistencën e saj jashtëzakonisht të lartë ndaj konsumimit. Sidomos në mjedise procesesh me temperaturë të lartë dhe shumë korrozive, siç është depozitimi kimik i avujve (CVD) dhe gdhendja me plazmë, veshja mund të parandalojë në mënyrë efektive dëmtimin e sipërfaqes së pajisjeve nga erozioni kimik ose konsumimi fizik, duke zgjatur kështu ndjeshëm jetëgjatësinë e shërbimit të pajisjeve dhe duke zvogëluar kohën e ndërprerjes së shkaktuar nga zëvendësimi dhe riparimi i shpeshtë.

Përmirësimi i pastërtisë së procesit:Në procesin e prodhimit të gjysmëpërçuesve, ndotja e vogël mund të shkaktojë defekte të produktit. Inercia kimike e Veshjes Qeramike të Karbitit të Silicit i lejon asaj të mbetet e qëndrueshme në kushte ekstreme, duke parandaluar që materiali të lëshojë grimca ose papastërti, duke siguruar kështu pastërtinë mjedisore të procesit. Kjo është veçanërisht e rëndësishme për hapat e prodhimit që kërkojnë saktësi dhe pastërti të lartë, siç janë PECVD dhe implantimi i joneve.

Optimizoni menaxhimin termik:Në përpunimin e gjysmëpërçuesve në temperaturë të lartë, siç janë përpunimi i shpejtë termik (RTP) dhe proceset e oksidimit, përçueshmëria e lartë termike e Veshjes Qeramike të Karbitit të Silicit mundëson shpërndarje uniforme të temperaturës brenda pajisjeve. Kjo ndihmon në uljen e stresit termik dhe deformimit të materialit të shkaktuar nga luhatjet e temperaturës, duke përmirësuar kështu saktësinë dhe qëndrueshmërinë e prodhimit të produktit.

Mbështet mjedise komplekse procesesh:Në proceset që kërkojnë kontroll kompleks të atmosferës, siç janë proceset e gdhendjes ICP dhe gdhendjes PSS, stabiliteti dhe rezistenca ndaj oksidimit e Veshjes Qeramike të Karbitit të Silicit sigurojnë që pajisja të ruajë performancë të qëndrueshme në funksionim afatgjatë, duke zvogëluar rrezikun e degradimit të materialit ose dëmtimit të pajisjeve për shkak të ndryshimeve mjedisore.