грејач за керамички слој од силициум карбид

Вет-КинаСилициум карбидна керамикаПремазот е високо-ефикасен заштитен премаз направен од исклучително тврд и отпорен на абењесилициум карбид (SiC)материјал, кој обезбедува одлична отпорност на хемиска корозија и стабилност на високи температури. Овие карактеристики се клучни во производството на полупроводници, па затоаКерамички слој од силициум карбиде широко користен во клучните компоненти на опремата за производство на полупроводници.

Специфичната улога на Vet-ChinaСилициум карбидна керамикаОблогата во производството на полупроводници е како што следува:

Зголемете ја издржливоста на опремата:Керамички премаз од силициум карбид Керамичкиот премаз од силициум карбид обезбедува одлична површинска заштита за опрема за производство на полупроводници со својата екстремно висока цврстина и отпорност на абење. Особено во високотемпературни и високо корозивни процесни средини, како што се хемиско таложење на пареа (CVD) и плазматско гравирање, премазот може ефикасно да спречи оштетување на површината на опремата од хемиска ерозија или физичко абење, со што значително се продолжува работниот век на опремата и се намалува времето на застој предизвикано од честа замена и поправка.

Подобрете ја чистотата на процесот:Во процесот на производство на полупроводници, ситните контаминации можат да предизвикаат дефекти на производот. Хемиската инертност на силициум-карбидната керамика му овозможува да остане стабилен под екстремни услови, спречувајќи го материјалот да ослободува честички или нечистотии, со што се обезбедува еколошка чистота на процесот. Ова е особено важно за фазите на производство кои бараат висока прецизност и висока чистота, како што се PECVD и јонска имплантација.

Оптимизирајте го термичкото управување:При високотемпературна обработка на полупроводници, како што се брзата термичка обработка (RTP) и процесите на оксидација, високата топлинска спроводливост на силициум-карбидната керамичка обвивка овозможува рамномерна распределба на температурата во внатрешноста на опремата. Ова помага да се намали термичкиот стрес и деформацијата на материјалот предизвикани од температурни флуктуации, со што се подобрува точноста и конзистентноста на производството на производот.

Поддржува сложени процесни средини:Во процеси што бараат комплексна контрола на атмосферата, како што се процесите на ICP бакарење и PSS бакарење, стабилноста и отпорноста на оксидација на силициум-карбидната керамика обезбедуваат опремата да одржува стабилни перформанси при долготрајно работење, намалувајќи го ризикот од деградација на материјалот или оштетување на опремата поради промени во животната средина.