सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग हीटर

व्हेट-चायनासिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिककोटिंग हे अत्यंत कठीण आणि पोशाख-प्रतिरोधक पदार्थांपासून बनलेले उच्च-कार्यक्षमतेचे संरक्षणात्मक कोटिंग आहेसिलिकॉन कार्बाइड (SiC)उत्कृष्ट रासायनिक गंज प्रतिकार आणि उच्च-तापमान स्थिरता प्रदान करणारे साहित्य. अर्धवाहक उत्पादनात ही वैशिष्ट्ये महत्त्वाची आहेत, म्हणूनसिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगसेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांच्या प्रमुख घटकांमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाते.

व्हेट-चायनाची विशिष्ट भूमिकासिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिकअर्धवाहक उत्पादनात कोटिंग खालीलप्रमाणे आहे:

उपकरणांचा टिकाऊपणा वाढवा:सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग त्याच्या अत्यंत उच्च कडकपणा आणि पोशाख प्रतिरोधकतेसह अर्धसंवाहक उत्पादन उपकरणांसाठी उत्कृष्ट पृष्ठभाग संरक्षण प्रदान करते. विशेषतः उच्च-तापमान आणि अत्यंत संक्षारक प्रक्रिया वातावरणात, जसे की रासायनिक वाष्प निक्षेपण (CVD) आणि प्लाझ्मा एचिंग, कोटिंग रासायनिक धूप किंवा भौतिक पोशाखांमुळे उपकरणाच्या पृष्ठभागाचे नुकसान होण्यापासून प्रभावीपणे रोखू शकते, ज्यामुळे उपकरणांचे सेवा आयुष्य लक्षणीयरीत्या वाढते आणि वारंवार बदल आणि दुरुस्तीमुळे होणारा डाउनटाइम कमी होतो.

प्रक्रिया शुद्धता सुधारा:अर्धवाहक उत्पादन प्रक्रियेत, लहान दूषिततेमुळे उत्पादनातील दोष निर्माण होऊ शकतात. सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगची रासायनिक जडत्व अत्यंत परिस्थितीत स्थिर राहण्यास अनुमती देते, ज्यामुळे कण किंवा अशुद्धता सोडण्यापासून सामग्रीला प्रतिबंधित करते, ज्यामुळे प्रक्रियेची पर्यावरणीय शुद्धता सुनिश्चित होते. हे विशेषतः उत्पादन चरणांसाठी महत्वाचे आहे ज्यांना उच्च अचूकता आणि उच्च स्वच्छता आवश्यक आहे, जसे की PECVD आणि आयन इम्प्लांटेशन.

थर्मल व्यवस्थापन ऑप्टिमाइझ करा:उच्च-तापमानाच्या अर्धवाहक प्रक्रियेमध्ये, जसे की जलद थर्मल प्रोसेसिंग (RTP) आणि ऑक्सिडेशन प्रक्रिया, सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगची उच्च थर्मल चालकता उपकरणांमध्ये एकसमान तापमान वितरण सक्षम करते. हे तापमान चढउतारांमुळे होणारे थर्मल ताण आणि सामग्रीचे विकृतीकरण कमी करण्यास मदत करते, ज्यामुळे उत्पादन उत्पादन अचूकता आणि सुसंगतता सुधारते.

जटिल प्रक्रिया वातावरणास समर्थन द्या:आयसीपी एचिंग आणि पीएसएस एचिंग प्रक्रियांसारख्या जटिल वातावरण नियंत्रणाची आवश्यकता असलेल्या प्रक्रियांमध्ये, सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगची स्थिरता आणि ऑक्सिडेशन प्रतिरोधकता हे सुनिश्चित करते की उपकरणे दीर्घकालीन ऑपरेशनमध्ये स्थिर कामगिरी राखतात, ज्यामुळे पर्यावरणीय बदलांमुळे सामग्रीचा ऱ्हास किंवा उपकरणांचे नुकसान होण्याचा धोका कमी होतो.