silisiumkarbide keramyske coatingferwaarmer

Koarte beskriuwing:

As profesjonele fabrikant en leveransier fan silisiumkarbide keramyske coatings yn Sina, wurdt de silisiumkarbide keramyske coating fan Vet-China in soad brûkt op wichtige komponinten fan apparatuer foar it meitsjen fan healgeleiders, foaral as it giet om CVD- en PECVD-prosessen. Vet-China is spesjalisearre yn it produsearjen en leverjen fan hege prestaasjes silisiumkarbide keramyske coatings, en set him yn foar it leverjen fan avansearre technology en produktoplossingen foar de healgeleideryndustry. Wy ferwolkomje jo fragen.


Produktdetail

Produktlabels

Bistedokter-SinaSilisiumkarbide KeramykCoating is in hege prestaasjes beskermjende coating makke fan ekstreem hurde en slijtvastesilisiumkarbid (SiC)materiaal, dat poerbêste gemyske korrosjebestriding en hege temperatuerstabiliteit biedt. Dizze skaaimerken binne krúsjaal yn 'e produksje fan healgeleiders, dusSilisiumkarbide keramyske coatingwurdt breed brûkt yn wichtige komponinten fan apparatuer foar it meitsjen fan healgeleiders.

De spesifike rol fan Vet-ChinaSilisiumkarbide KeramykCoating yn 'e produksje fan healgeleiders is as folget:

Ferbetterje de duorsumens fan apparatuer:Silisiumkarbide keramyske coating Silisiumkarbide keramyske coating biedt poerbêste oerflakbeskerming foar apparatuer foar healgeleiderproduksje mei syn ekstreem hege hurdens en slijtvastheid. Benammen yn hege temperatuer en tige korrosive prosesomjouwings, lykas gemyske dampôfsetting (CVD) en plasma-etsen, kin de coating effektyf foarkomme dat it oerflak fan 'e apparatuer skansearre wurdt troch gemyske eroazje of fysike slijtage, wêrtroch't de libbensdoer fan 'e apparatuer signifikant ferlingd wurdt en de downtime feroarsake troch faak ferfanging en reparaasje fermindere wurdt.

Ferbetterje prosesreinheid:Yn it produksjeproses fan healgeleiders kin lytse fersmoarging produktdefekten feroarsaakje. De gemyske inertheid fan silisiumkarbide keramyske coating lit it stabyl bliuwe ûnder ekstreme omstannichheden, wêrtroch't it materiaal gjin dieltsjes of ûnreinheden frijlit, wêrtroch't de miljeu-suverens fan it proses garandearre wurdt. Dit is foaral wichtich foar produksjestappen dy't hege presyzje en hege skjinens fereaskje, lykas PECVD en ionymplantaasje.

Optimalisearje termysk behear:Yn hege-temperatuer healgeleiderferwurking, lykas rappe termyske ferwurking (RTP) en oksidaasjeprosessen, makket de hege termyske geliedingsfermogen fan silisiumkarbide keramyske coating in unifoarme temperatuerferdieling yn 'e apparatuer mooglik. Dit helpt termyske stress en materiaaldeformaasje feroarsake troch temperatuerfluktuaasjes te ferminderjen, wêrtroch't de krektens en konsistinsje fan produktproduksje ferbettere wurdt.

Stipe komplekse prosesomjouwings:Yn prosessen dy't komplekse atmosfearkontrôle fereaskje, lykas ICP-ets- en PSS-etsprosessen, soargje de stabiliteit en oksidaasjebestriding fan Silicon Carbide Ceramic Coating derfoar dat de apparatuer stabile prestaasjes behâldt yn lange termyn operaasje, wêrtroch it risiko op materiaaldegradaasje of skea oan apparatuer troch miljeuferoarings wurdt fermindere.

silisiumkarbid keramyske coating
Grafytferwaarming (4)

CVD SiC薄膜基本物理性能

Basis fysike eigenskippen fan CVD SiCbedekking

性质 / Eigendom

典型数值 / Typyske wearde

晶体结构 / Kristalstruktuer

FCC β-faze多晶,主要为(111)取向

密度 / Dichtheid

3,21 g/cm³

硬度 / Hurdens

2500 维氏硬度(500g lading)

晶粒大小 / Nôtgrutte

2~10μm

纯度 / Gemyske suverens

99.99995%

热容 / Waarmtekapasiteit

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimaasjetemperatuer

2700 ℃

抗弯强度 / Bûgingssterkte

415 MPa RT 4-punt

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt bûging, 1300 ℃

导热系数 / TermalGeliedingsfermogen

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Termyske útwreiding (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

Wolkom jo graach om ús fabryk te besykjen, lit ús fierder prate!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Foarige:
  • Folgjende:

  • WhatsApp Online Chat!