Ohrievač s keramickým povlakom z karbidu kremíka

Vet-ČínaKeramika z karbidu kremíkaNáter je vysokoúčinný ochranný náter vyrobený z extrémne tvrdého a odolného materiálukarbid kremíka (SiC)materiál, ktorý poskytuje vynikajúcu chemickú odolnosť voči korózii a stabilitu pri vysokých teplotách. Tieto vlastnosti sú kľúčové pri výrobe polovodičov, takžeKeramický povlak z karbidu kremíkasa široko používa v kľúčových komponentoch zariadení na výrobu polovodičov.

Špecifická úloha Vet-ChinaKeramika z karbidu kremíkaPovrchová úprava pri výrobe polovodičov je nasledovná:

Zvýšte odolnosť zariadenia:Keramický povlak z karbidu kremíka Keramický povlak z karbidu kremíka poskytuje vynikajúcu ochranu povrchu zariadení na výrobu polovodičov vďaka svojej extrémne vysokej tvrdosti a odolnosti voči opotrebovaniu. Najmä v prostredí s vysokou teplotou a vysokou koróziou, ako je chemické nanášanie z pár (CVD) a plazmové leptanie, môže povlak účinne zabrániť poškodeniu povrchu zariadenia chemickou eróziou alebo fyzikálnym opotrebením, čím sa výrazne predlžuje životnosť zariadenia a skracujú sa prestoje spôsobené častou výmenou a opravou.

Zlepšenie čistoty procesu:V procese výroby polovodičov môže malá kontaminácia spôsobiť chyby produktu. Chemická inertnosť keramického povlaku z karbidu kremíka mu umožňuje zostať stabilný aj v extrémnych podmienkach, čím zabraňuje uvoľňovaniu častíc alebo nečistôt z materiálu, čím sa zabezpečuje environmentálna čistota procesu. To je obzvlášť dôležité pre výrobné kroky, ktoré vyžadujú vysokú presnosť a čistotu, ako je PECVD a iónová implantácia.

Optimalizácia tepelného manažmentu:Pri vysokoteplotnom spracovaní polovodičov, ako je rýchle tepelné spracovanie (RTP) a oxidačné procesy, umožňuje vysoká tepelná vodivosť keramického povlaku z karbidu kremíka rovnomerné rozloženie teploty vo vnútri zariadenia. To pomáha znižovať tepelné namáhanie a deformáciu materiálu spôsobenú kolísaním teploty, čím sa zlepšuje presnosť a konzistentnosť výroby produktov.

Podpora komplexných procesných prostredí:V procesoch, ktoré vyžadujú komplexnú kontrolu atmosféry, ako sú napríklad procesy leptania ICP a leptania PSS, stabilita a odolnosť keramického povlaku z karbidu kremíka voči oxidácii zabezpečujú, že zariadenie si udržiava stabilný výkon aj pri dlhodobej prevádzke, čím sa znižuje riziko degradácie materiálu alebo poškodenia zariadenia v dôsledku zmien prostredia.