Grelec s keramičnim premazom iz silicijevega karbida

Vet-Chinasilicijev karbid keramikaPremaz je visokozmogljiv zaščitni premaz, izdelan iz izjemno trdega in odpornega materialasilicijev karbid (SiC)material, ki zagotavlja odlično kemično odpornost proti koroziji in stabilnost pri visokih temperaturah. Te lastnosti so ključne pri proizvodnji polprevodnikov, zatoKeramični premaz iz silicijevega karbidase pogosto uporablja v ključnih komponentah opreme za proizvodnjo polprevodnikov.

Posebna vloga Vet-Chinasilicijev karbid keramikaPremaz v proizvodnji polprevodnikov je naslednji:

Izboljšajte vzdržljivost opreme:Keramični premaz iz silicijevega karbida Keramični premaz iz silicijevega karbida zagotavlja odlično zaščito površine opreme za proizvodnjo polprevodnikov z izjemno visoko trdoto in odpornostjo proti obrabi. Zlasti v visokotemperaturnih in zelo korozivnih procesnih okoljih, kot sta kemično nanašanje s paro (CVD) in plazemsko jedkanje, lahko premaz učinkovito prepreči poškodbe površine opreme zaradi kemične erozije ali fizične obrabe, s čimer znatno podaljša življenjsko dobo opreme in zmanjša čas izpada zaradi pogostih zamenjav in popravil.

Izboljšajte čistost procesa:V procesu izdelave polprevodnikov lahko že najmanjša kontaminacija povzroči napake v izdelku. Kemijska inertnost keramične prevleke iz silicijevega karbida omogoča, da ostane stabilna v ekstremnih pogojih, kar preprečuje sproščanje delcev ali nečistoč iz materiala, s čimer se zagotavlja okoljska čistost procesa. To je še posebej pomembno za proizvodne korake, ki zahtevajo visoko natančnost in čistočo, kot sta PECVD in ionska implantacija.

Optimizirajte upravljanje temperature:Pri visokotemperaturni obdelavi polprevodnikov, kot sta hitra termična obdelava (RTP) in oksidacijski procesi, visoka toplotna prevodnost keramične prevleke iz silicijevega karbida omogoča enakomerno porazdelitev temperature znotraj opreme. To pomaga zmanjšati toplotne obremenitve in deformacije materiala, ki jih povzročajo temperaturna nihanja, s čimer se izboljša natančnost in doslednost izdelave izdelkov.

Podpora kompleksnim procesnim okoljem:V procesih, ki zahtevajo kompleksen nadzor atmosfere, kot so procesi jedkanja ICP in jedkanja PSS, stabilnost in odpornost proti oksidaciji keramične prevleke iz silicijevega karbida zagotavljata, da oprema ohranja stabilno delovanje pri dolgotrajnem delovanju, kar zmanjšuje tveganje za degradacijo materiala ali poškodbe opreme zaradi okoljskih sprememb.