Veterinè-LachinSilisyòm Carbide SeramikKouch se yon kouch pwoteksyon pèfòmans segondè ki fèt ak yon materyèl ki trè di epi ki reziste mete.carbure Silisyòm (SiC)materyèl, ki bay ekselan rezistans korozyon chimik ak estabilite tanperati ki wo. Karakteristik sa yo enpòtan anpil nan pwodiksyon semi-kondiktè, kidonkKouch seramik Silisyòm Carbideli lajman itilize nan konpozan kle nan ekipman fabrikasyon semi-kondiktè.
Wòl espesifik Vet-China aSilisyòm Carbide SeramikJan kouch nan pwodiksyon semi-kondiktè yo ye:
Amelyore rezistans ekipman yo:Kouch Seramik Silisyòm Karbid Kouch Seramik Silisyòm Karbid bay yon ekselan pwoteksyon sifas pou ekipman fabrikasyon semi-kondiktè grasa dite ak rezistans mete li ki wo anpil. Espesyalman nan anviwònman pwosesis ki gen tanperati ki wo ak trè koroziv, tankou depo vapè chimik (CVD) ak grave plasma, kouch la ka efektivman anpeche sifas ekipman an domaje pa ewozyon chimik oswa mete fizik, kidonk pwolonje lavi sèvis ekipman an anpil epi diminye tan pann ki koze pa ranplasman ak reparasyon souvan.
Amelyore pite pwosesis la:Nan pwosesis fabrikasyon semi-kondiktè, yon ti kontaminasyon ka lakòz domaj nan pwodwi a. Inertite chimik kouch seramik Silisyòm Karbid la pèmèt li rete estab nan kondisyon ekstrèm, sa anpeche materyèl la lage patikil oswa enpurte, kidonk asire pite anviwònman pwosesis la. Sa a patikilyèman enpòtan pou etap fabrikasyon ki mande anpil presizyon ak anpil pwòpte, tankou PECVD ak enplantasyon iyon.
Optimize jesyon tèmik:Nan pwosesis semi-kondiktè ki fèt nan tanperati ki wo, tankou pwosesis tèmik rapid (RTP) ak pwosesis oksidasyon, konduktivite tèmik ki wo nan kouch seramik Silisyòm Carbide a pèmèt yon distribisyon tanperati inifòm andedan ekipman an. Sa ede diminye estrès tèmik ak defòmasyon materyèl ki koze pa varyasyon tanperati yo, kidonk amelyore presizyon ak konsistans fabrikasyon pwodwi a.
Sipòte anviwònman pwosesis konplèks:Nan pwosesis ki mande kontwòl atmosfè konplèks, tankou pwosesis grave ICP ak grave PSS, estabilite ak rezistans oksidasyon Kouch Seramik Silisyòm Karbid asire ke ekipman an kenbe pèfòmans ki estab nan operasyon alontèm, sa ki diminye risk degradasyon materyèl oswa domaj ekipman akòz chanjman anviwònman.
| Maladi Kadyovaskilè (MKV) SiC薄膜基本物理性能 Pwopriyete fizik debaz nan CVD SiCkouch | |
| 性质 / Pwopriyete | 典型数值 / Valè tipik |
| 晶体结构 / Estrikti Kristal | Faz FCC β多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 Dansite | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 Dite | 2500 维氏硬度（500g chaj） |
| 晶粒大小 Gwosè grenn | 2 ~ 10μm |
| 纯度 / Pite Chimik | 99.99995% |
| 热容 / Kapasite Chalè | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Tanperati Siblimasyon | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Fòs fleksyon | 415 MPa RT 4 pwen |
| 杨氏模量 / Modil Young lan | 430 Gpa 4pt koube, 1300 ℃ |
| 导热系数 / TèmlKonduktivite | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 Ekspansyon tèmik (CTE) | 4.5 × 10-6K-1 |
Nou kontan akeyi ou pou vizite faktori nou an, ann diskite plis!
