silicio karbido keraminės dangos šildytuvas

Veterinarinė KinijaSilicio karbido keramikaDanga yra aukštos kokybės apsauginė danga, pagaminta iš itin kietos ir atsparios dilimui medžiagossilicio karbidas (SiC)medžiaga, kuri pasižymi puikiu atsparumu cheminei korozijai ir stabilumu aukštoje temperatūroje. Šios savybės yra labai svarbios puslaidininkių gamyboje, todėlSilicio karbido keraminė dangaplačiai naudojamas pagrindiniuose puslaidininkių gamybos įrangos komponentuose.

Konkretus „Vet-China“ vaidmuoSilicio karbido keramikaPuslaidininkių gamyboje danga padengiama taip:

Padidinkite įrangos ilgaamžiškumą:Silicio karbido keraminė danga Silicio karbido keraminė danga, pasižyminti itin dideliu kietumu ir atsparumu dilimui, užtikrina puikią puslaidininkių gamybos įrangos paviršiaus apsaugą. Ypač aukštos temperatūros ir labai korozinėse procesų aplinkose, tokiose kaip cheminis garų nusodinimas (CVD) ir plazminis ėsdinimas, danga gali veiksmingai apsaugoti įrangos paviršių nuo cheminės erozijos ar fizinio nusidėvėjimo, taip žymiai pailgindama įrangos tarnavimo laiką ir sumažindama prastovas, atsirandančias dėl dažno keitimo ir remonto.

Pagerinti proceso grynumą:Puslaidininkių gamybos procese net ir menkiausia užterštumo dalelė gali sukelti gaminio defektus. Silicio karbido keraminės dangos cheminis inertiškumas leidžia jai išlikti stabiliai ekstremaliomis sąlygomis, neleidžiant medžiagai išskirti dalelių ar priemaišų, taip užtikrinant proceso aplinkosauginį švarumą. Tai ypač svarbu gamybos etapuose, kuriems reikalingas didelis tikslumas ir švara, pavyzdžiui, PECVD ir jonų implantacija.

Optimizuokite šilumos valdymą:Aukštos temperatūros puslaidininkių apdirbimo, pavyzdžiui, greito terminio apdorojimo (RTP) ir oksidacijos procesuose, didelis silicio karbido keraminės dangos šilumos laidumas leidžia tolygiai paskirstyti temperatūrą įrangos viduje. Tai padeda sumažinti terminį įtempį ir medžiagos deformaciją, kurią sukelia temperatūros svyravimai, taip pagerinant gaminių gamybos tikslumą ir nuoseklumą.

Palaikyti sudėtingas procesų aplinkas:Procesuose, kuriems reikalingas sudėtingas atmosferos valdymas, pavyzdžiui, ICP ėsdinimo ir PSS ėsdinimo procesuose, silicio karbido keraminės dangos stabilumas ir atsparumas oksidacijai užtikrina, kad įranga išlaikytų stabilų veikimą ilgalaikėje eksploatacijoje, sumažindama medžiagų degradacijos ar įrangos pažeidimo dėl aplinkos pokyčių riziką.