Siliziumkarbid Keramikbeschichtungsheizung

Vet-ChinaSiliziumkarbid KeramikD'Beschichtung ass eng héich performant Schutzbeschichtung aus extrem haardem a verschleißbeständegem Material.Siliziumkarbid (SiC)Material, dat exzellent chemesch Korrosiounsbeständegkeet a Stabilitéit bei héijen Temperaturen bitt. Dës Eegeschafte si wichteg an der Hallefleederproduktioun, dofirSiliziumkarbid Keramikbeschichtunggëtt wäit verbreet a Schlësselkomponenten vun der Hallefleederproduktiounsausrüstung benotzt.

Déi spezifesch Roll vu Vet-ChinaSiliziumkarbid KeramikD'Beschichtung an der Hallefleederproduktioun ass wéi follegt:

Verbessert d'Haltbarkeet vun der Ausrüstung:Siliziumcarbid-Keramikbeschichtung Siliziumcarbid-Keramikbeschichtung bitt exzellenten Uewerflächenschutz fir Hallefleederproduktiounsausrüstung mat senger extrem héijer Häert a Verschleißbeständegkeet. Besonnesch an héichtemperaturegen an héich korrosive Prozessëmfeld, wéi chemesch Dampfoflagerung (CVD) a Plasmaätzen, kann d'Beschichtung effektiv verhënneren, datt d'Uewerfläch vun der Ausrüstung duerch chemesch Erosioun oder physesch Verschleiung beschiedegt gëtt, wouduerch d'Liewensdauer vun der Ausrüstung däitlech verlängert gëtt an d'Ausfallzäiten, déi duerch heefeg Ersatz a Reparatur verursaacht ginn, reduzéiert ginn.

Prozessreinheet verbesseren:Am Prozess vun der Hallefleederherstellung kann eng kleng Kontaminatioun Produktdefekter verursaachen. Déi chemesch Inertitéit vun der Siliziumkarbid-Keramikbeschichtung erlaabt et, ënner extremen Bedéngungen stabil ze bleiwen, wouduerch d'Material keng Partikelen oder Ongereinheeten fräisetzt, an doduerch d'Ëmweltreinheet vum Prozess garantéiert gëtt. Dëst ass besonnesch wichteg fir Fabrikatiounsschritte mat héijer Präzisioun a Rengheet, wéi z. B. PECVD an Ionenimplantatioun.

Optimiséiert d'Thermomanagement:Bei der Héichtemperatur-Halbleiterveraarbechtung, wéi z. B. beim Schnellthermveraarbechtungsprozess (RTP) an Oxidatiounsprozesser, erméiglecht déi héich Wärmeleitfäegkeet vun der Siliziumkarbid-Keramikbeschichtung eng gläichméisseg Temperaturverdeelung am Ausrüstung. Dëst hëlleft d'thermesch Belaaschtung an d'Materialverformung ze reduzéieren, déi duerch Temperaturschwankungen verursaacht gëtt, wouduerch d'Genauegkeet an d'Konsistenz vun der Produktherstellung verbessert gëtt.

Ënnerstëtzung vu komplexe Prozessëmfeld:A Prozesser, déi komplex Atmosphärkontroll erfuerderen, wéi ICP-Ätze- a PSS-Ätzeprozesser, garantéieren d'Stabilitéit an d'Oxidatiounsbeständegkeet vun der Siliziumcarbid-Keramikbeschichtung, datt d'Ausrüstung eng stabil Leeschtung am laangfristege Betrib behält, wouduerch de Risiko vu Materialverschlechterung oder Ausrüstungsschued duerch Ëmweltännerungen reduzéiert gëtt.