VET انرجي PECVD پروسيس گريفائٽ ويفر سپورٽ هڪ بنيادي استعمال لائق آهي جيڪو PECVD (پلازما اينهانسڊ ڪيميڪل وانپ ڊپوزيشن) جي عمل لاءِ ٺهيل آهي. هي پراڊڪٽ اعليٰ پاڪائي، اعليٰ کثافت واري گريفائٽ مواد مان ٺهيل آهي، بهترين اعليٰ درجه حرارت جي مزاحمت، سنکنرن جي مزاحمت، طول و عرض جي استحڪام ۽ ٻين خاصيتن سان، PECVD عمل لاءِ هڪ مستحڪم سپورٽ پليٽ فارم مهيا ڪري سگهي ٿو، فلم ڊپوزيشن جي هڪجهڙائي ۽ همواري کي يقيني بڻائڻ لاءِ.
وي اي ٽي انرجي گريفائيٽ ويفر سپورٽ جو "گريفائيٽ سپورٽ" ڊيزائن نه رڳو ويفر کي مؤثر طريقي سان سپورٽ ڪري سگهي ٿو، پر عمل جي استحڪام کي يقيني بڻائڻ لاءِ اعليٰ درجه حرارت ۽ اعليٰ دٻاءُ واري PECVD ماحول ۾ حرارتي استحڪام پڻ فراهم ڪري ٿو.
VET انرجي PECVD پروسيس گريفائيٽ ويفر سپورٽ ۾ هيٺيون خاصيتون آهن:
▪اعليٰ پاڪائي:فلم جي معيار کي يقيني بڻائڻ لاءِ، نجاست جو مواد انتهائي گهٽ، فلم جي آلودگي کان بچڻ.
▪وڏي کثافت:اعلي کثافت، اعلي ميڪيڪل طاقت، اعلي گرمي پد ۽ اعلي دٻاءُ PECVD ماحول کي برداشت ڪري سگهي ٿو.
▪سٺي طول و عرض جي استحڪام:عمل جي استحڪام کي يقيني بڻائڻ لاءِ اعليٰ درجه حرارت تي ننڍيون طول و عرض تبديليون.
▪بهترين حرارتي چالکائي:ويفر جي اوور هيٽنگ کي روڪڻ لاءِ مؤثر طريقي سان گرمي منتقل ڪريو.
▪مضبوط سنکنرن جي مزاحمت:مختلف corrosive گيسن ۽ پلازما جي ڪٽائي جي مزاحمت ڪرڻ جي قابل.
▪ڪسٽمائيز سروس:مختلف سائزن ۽ شڪلن جا گريفائيٽ سپورٽ ٽيبل گراهڪن جي ضرورتن مطابق ترتيب ڏئي سگھجن ٿا.
ايس جي ايل مان گريفائيٽ مواد:
| عام پيرا ميٽر: R6510 | |||
| انڊيڪس | ٽيسٽ معيار | قدر | يونٽ |
| سراسري اناج جي ماپ | آئي ايس او 13320 | 10 | مائڪرون |
| گھڻي کثافت | ڊين آءِ اي سي 60413/204 | 1.83 | گرام/سينٽي ميٽر3 |
| کليل پورسيٽي | ڊين 66133 | 10 | % |
| وچولي سوراخ جي سائيز | ڊين 66133 | 1.8 | مائڪرون |
| پارگميتا | ڊين 51935 | 0.06 | سينٽي ميٽر/سيڪنڊ |
| راڪ ويل سختي HR5/100 | ڊين IEC60413/303 | 90 | HR |
| مخصوص بجلي مزاحمت | ڊين آءِ اي سي 60413/402 | 13 | μΩm |
| لچڪدار طاقت | ڊين آءِ اي سي 60413/501 | 60 | ايم پي اي |
| دٻاءُ واري طاقت | ڊين 51910 | 130 | ايم پي اي |
| ينگ جو ماڊيولس | ڊين 51915 | 11.5 × 10³ | ايم پي اي |
| حرارتي توسيع (20-200 ℃) | ڊين 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| حرارتي چالکائي (20 ℃) | ڊين 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
اهو خاص طور تي اعليٰ ڪارڪردگي واري سولر سيل جي پيداوار لاءِ ٺاهيو ويو آهي، جيڪو G12 وڏي سائيز جي ويفر پروسيسنگ کي سپورٽ ڪري ٿو. بهتر ڪيل ڪيريئر ڊيزائن خاص طور تي ٿرو پُٽ وڌائي ٿو، جنهن سان پيداوار جي شرح وڌيڪ ۽ پيداوار جي قيمت گهٽجي ٿي.
| شيءِ | قسم | نمبر ويفر ڪيريئر |
| PEVCD گريفائيٽ ٻيڙي - 156 سيريز | 156-13 گريفائيٽ ٻيڙي | 144 |
| 156-19 گريفائيٽ ٻيڙي | 216 | |
| 156-21 گريفائيٽ ٻيڙي | 240 | |
| 156-23 گريفائيٽ ٻيڙي | 308 | |
| PEVCD گريفائيٽ ٻيڙي - 125 سيريز | 125-15 گريفائيٽ ٻيڙي | 196 |
| 125-19 گريفائيٽ ٻيڙي | 252 | |
| 125-21 گرفائيٽ ٻيڙي | 280 |
