የVET ኃይል የPECVD ሂደት ግራፋይት ዋፈር ድጋፍ ለPECVD (የፕላዝማ የተሻሻለ የኬሚካል ትነት ክምችት) ሂደት የተነደፈ ዋና ፍጆታ ነው። ይህ ምርት ከፍተኛ ንፅህና፣ ከፍተኛ ጥግግት ካለው ግራፋይት ቁሳቁስ የተሰራ ሲሆን እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መቋቋም፣ የዝገት መቋቋም፣ የመጠን መረጋጋት እና ሌሎች ባህሪያት ያሉት ሲሆን የፊልም ክምችት ወጥነት እና ጠፍጣፋነት ለማረጋገጥ ለPECVD ሂደት የተረጋጋ የድጋፍ መድረክ ሊያቀርብ ይችላል።
የVET ኢነርጂ ግራፋይት ዋፈር ድጋፍ "ግራፋይት ድጋፍ" ዲዛይን ዋፈርን በብቃት መደገፍ ብቻ ሳይሆን የሂደቱን መረጋጋት ለማረጋገጥ በከፍተኛ ሙቀት እና በከፍተኛ ግፊት PECVD አካባቢ ውስጥ የሙቀት መረጋጋትን መስጠት ይችላል።
የVET ኢነርጂ የPECVD ሂደት ግራፋይት ዋፈር ድጋፍ የሚከተሉት ባህሪያት አሉት፡
▪ከፍተኛ ንፅህና;እጅግ በጣም ዝቅተኛ የሆነ የቆሻሻ ይዘት፣ የፊልሙን ጥራት ለማረጋገጥ የፊልሙን ብክለት ያስወግዱ።
▪ከፍተኛ ጥግግት፦ከፍተኛ ጥግግት፣ ከፍተኛ ሜካኒካል ጥንካሬ፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠን እና ከፍተኛ ግፊት ያለው የPECVD አካባቢን መቋቋም ይችላል።
▪ጥሩ የልኬት መረጋጋት;የሂደቱን መረጋጋት ለማረጋገጥ በከፍተኛ ሙቀት ላይ ትናንሽ ልኬቶች ለውጦች።
▪እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት ማስተላለፊያ;የዋፈር ከመጠን በላይ ሙቀትን ለመከላከል ሙቀትን በብቃት ያስተላልፋል።
▪ጠንካራ የዝገት መቋቋም;በተለያዩ ዝገት ጋዞች እና ፕላዝማ ምክንያት የሚመጣ የአፈር መሸርሸርን መቋቋም የሚችል።
▪ብጁ አገልግሎት፡የተለያዩ መጠኖችና ቅርጾች ያላቸው የግራፋይት ድጋፍ ጠረጴዛዎች እንደ ደንበኛ ፍላጎቶች ሊበጁ ይችላሉ።
የግራፋይት ቁሳቁስ ከ SGL፦
| የተለመደው መለኪያ፡ R6510 | |||
| ማውጫ | የሙከራ መስፈርት | እሴት | ዩኒት |
| አማካይ የእህል መጠን | ISO 13320 | 10 | μሜ |
| የጅምላ ጥግግት | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | ግ/ሴሜ3 |
| ክፍት ቀዳዳ | DIN66133 | 10 | % |
| መካከለኛ የቀዳዳ መጠን | DIN66133 | 1.8 | μሜ |
| ዘላቂነት | ዲአይኤን 51935 | 0.06 | ሴሜ²/ሰ |
| የሮክዌል ጥንካሬ HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| የተወሰነ የኤሌክትሪክ መቋቋም | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩም |
| የመተጣጠፍ ጥንካሬ | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| የመጭመቂያ ጥንካሬ | ዲአይኤን 51910 | 130 | MPa |
| የያንግ ሞዱለስ | ዲአይኤን 51915 | 11.5 × 10³ | MPa |
| የሙቀት መስፋፋት (20-200℃) | ዲአይኤን 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| የሙቀት ኮዳክቲቭ (20℃) | ዲአይኤን 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
በተለይ ለከፍተኛ ብቃት ያለው የፀሐይ ሴል ማምረቻ የተነደፈ ሲሆን፣ የG12 ትልቅ መጠን ያለው የዋፈር ማቀነባበሪያን ይደግፋል። የተሻሻለው ተሸካሚ ዲዛይን የውጤት መጠንን በእጅጉ ይጨምራል፣ ይህም ከፍተኛ የምርት መጠን እና ዝቅተኛ የምርት ወጪዎችን ያስችላል።
| እቃ | አይነት | የቁጥር ስዋፈር ተሸካሚ |
| የፔቭሲዲ ግሬፋይት ጀልባ - የ156 ተከታታይ | 156-13 ግሪፋይት ጀልባ | 144 |
| 156-19 ግሪፋይት ጀልባ | 216 | |
| 156-21 ግሪፋይት ጀልባ | 240 | |
| 156-23 ግራፋይት ጀልባ | 308 | |
| PEVCD ግሬፋይት ጀልባ - የ125 ተከታታይ | 125-15 ግሪፋይት ጀልባ | 196 |
| 125-19 ግሪፋይት ጀልባ | 252 | |
| 125-21 ግሪፋይት ጀልባ | 280 |







