Sputterende teikensword hoofsaaklik in die elektroniese en inligtingsbedrywe gebruik, soos geïntegreerde stroombane, inligtingberging, vloeibare kristalskerms, lasergeheue, elektroniese beheertoestelle, ens. Hulle kan ook gebruik word op die gebied van glasbedekking, sowel as in slytasiebestande materiale, hoëtemperatuur-korrosiebestandheid, hoë-end dekoratiewe produkte en ander industrieë.
Sputtering is een van die belangrikste tegnieke vir die voorbereiding van dunfilmmateriale.Dit gebruik ione wat deur ioonbronne gegenereer word om te versnel en in 'n vakuum te aggregeer om hoëspoed-energie-ioonstrale te vorm, die vaste oppervlak te bombardeer en kinetiese energie tussen ione en vaste oppervlakatome uit te ruil. Die atome op die vaste oppervlak verlaat die vaste stof en word op die oppervlak van die substraat neergelê. Die gebombardeerde vaste stof is die grondstof vir die neerlegging van dun films deur middel van verstuiwing, wat die verstuiwingsteiken genoem word. Verskeie tipes gesputterde dunfilmmateriale word wyd gebruik in halfgeleier-geïntegreerde stroombane, opnamemedia, platskermskerms en werkstukoppervlakbedekkings.
Onder alle toepassingsbedrywe het die halfgeleierbedryf die strengste kwaliteitsvereistes vir teikensputterfilms. Hoë-suiwer metaalsputterteikens word hoofsaaklik in wafervervaardiging en gevorderde verpakkingsprosesse gebruik. As ons skyfievervaardiging as voorbeeld neem, kan ons sien dat van 'n silikonwafer tot 'n skyfie, dit deur 7 hoofproduksieprosesse moet gaan, naamlik diffusie (Termiese Proses), Fotolitografie (Fotolitografie), Ets (Etch), Iooninplanting (IonImplant), Dunfilmgroei (Diëlektriese Afsetting), Chemiese Meganiese Polering (CMP), Metallisering (Metalisering). Die prosesse stem een vir een ooreen. Die sputterteiken word in die proses van "metallisering" gebruik. Die teiken word gebombardeer met hoë-energie deeltjies deur dunfilmafsettingstoerusting en dan word 'n metaallaag met spesifieke funksies op die silikonwafer gevorm, soos 'n geleidende laag, 'n versperringslaag. Aangesien die prosesse van die hele halfgeleiers wissel, is daar af en toe situasies nodig om te verifieer dat die stelsel korrek bestaan, daarom vereis ons 'n paar soorte dummy-materiale in sekere stadiums van produksie om die effekte te bevestig.
Plasingstyd: 17 Januarie 2022