Targaidean spùtadhair an cleachdadh sa mhòr-chuid ann an gnìomhachasan eileagtronaigeach is fiosrachaidh, leithid cuairtean amalaichte, stòradh fiosrachaidh, taisbeanaidhean criostail leachtach, cuimhneachain laser, innealan smachd dealanach, msaa. Faodar an cleachdadh cuideachd ann an raon còmhdach glainne, a bharrachd air ann an stuthan a tha an aghaidh caitheamh, strì an aghaidh creimeadh teòthachd àrd, toraidhean sgeadachaidh àrd-inbhe agus gnìomhachasan eile.
'S e sputtering aon de na prìomh dhòighean airson stuthan film tana ullachadh.Bidh e a’ cleachdadh ianan a thèid a chruthachadh le stòran ian gus luathachadh agus cruinneachadh ann am falamh gus gathan ian lùtha aig astar luath a chruthachadh, an uachdar cruaidh a bhomadh, agus lùth cineatach iomlaid eadar ianan agus dadaman uachdar cruaidh. Bidh na dadaman air an uachdar cruaidh a’ fàgail an t-solaid agus air an tasgadh air uachdar an t-substrate. Is e an solid a tha air a bhomadh an stuth amh airson filmichean tana a thasgadh le sputtering, ris an canar targaid sputtering. Chaidh diofar sheòrsaichean de stuthan film tana sputtered a chleachdadh gu farsaing ann an cuairtean aonaichte leth-chonnsachaidh, meadhanan clàraidh, taisbeanaidhean pannal còmhnard agus còmhdach uachdar obair-phìos.
Am measg nan gnìomhachasan tagraidh uile, tha na riatanasan càileachd as cruaidhe aig gnìomhachas nan leth-chonnsair airson filmichean sputtering targaid. Tha targaidean sputtering meatailt àrd-ghlanachd air an cleachdadh sa mhòr-chuid ann an saothrachadh wafer agus pròiseasan pacaidh adhartach. A’ gabhail saothrachadh chip mar eisimpleir, chì sinn, bho wafer silicon gu chip, gum feum e a dhol tro 7 prìomh phròiseasan cinneasachaidh, is iad sin sgaoileadh (Pròiseas Teirmeach), Foto-lithography (Photo-lithography), Etch (Etch), Ion Implantation (IonImplant), Fàs Film Tana (Dielectric Deposition), Chemical Meacanical Polishing (CMP), Metalization (Metalization). Tha na pròiseasan a’ freagairt aon ri aon. Tha an targaid sputtering air a chleachdadh sa phròiseas “metallization”. Tha an targaid air a bhomadh le mìrean àrd-lùtha le uidheamachd tasgadh film tana agus an uairsin tha sreath meatailt le gnìomhan sònraichte air a chruthachadh air an wafer silicon, leithid sreath giùlain, sreath bacaidh. Fuirich. Leis gu bheil pròiseasan nan leth-chonnsair gu lèir eadar-dhealaichte, tha feum air cuid de shuidheachaidhean corra uair gus dearbhadh gu bheil an siostam ann gu ceart agus mar sin tha sinn ag iarraidh seòrsachan de stuthan meallta aig ìrean sònraichte de chinneasachadh gus na buaidhean a dhearbhadh.
Àm puist: 17 Faoilleach 2022