Awọn ibi-afẹde sputteringti wa ni o kun lo ninu awọn Electronics ati alaye ise, gẹgẹ bi awọn ese iyika, alaye ipamọ, omi gara han, lesa ìrántí, itanna Iṣakoso ẹrọ, bbl Wọn tun le ṣee lo ni awọn aaye ti gilasi ti a bo, bi daradara bi ni wọ-sooro ohun elo, ga-otutu ipata resistance , ga-opin ti ohun ọṣọ awọn ọja ati awọn miiran ise.
Sputtering jẹ ọkan ninu awọn ilana akọkọ fun ṣiṣe awọn ohun elo fiimu tinrin.O nlo awọn ions ti ipilẹṣẹ nipasẹ awọn orisun ion lati yara ati apapọ ni igbale lati dagba awọn ina ion agbara iyara-giga, bombard dada ti o lagbara, ati paarọ agbara kainetik laarin awọn ions ati awọn ọta oju ilẹ to lagbara. Awọn ọta ti o wa lori dada ti o lagbara ti lọ kuro ni ri to ati ti wa ni ipamọ lori dada ti sobusitireti. Bomu ti o lagbara ni ohun elo aise fun fifi awọn fiimu tinrin silẹ nipasẹ itọlẹ, eyiti a pe ni ibi-afẹde. Awọn oriṣi ti awọn ohun elo fiimu tinrin sputtered ni a ti lo ni lilo pupọ ni awọn iyika iṣọpọ semikondokito, media gbigbasilẹ, awọn ifihan panẹli alapin ati awọn aṣọ iboju iṣẹ.
Lara gbogbo awọn ile-iṣẹ ohun elo, ile-iṣẹ semikondokito ni awọn ibeere didara julọ ti o lagbara julọ fun awọn fiimu ti o ni itọka. Ti mu iṣelọpọ chirún gẹgẹbi apẹẹrẹ, a le rii pe lati inu ohun alumọni ohun alumọni si ërún, o nilo lati lọ nipasẹ awọn ilana iṣelọpọ pataki 7, eyun tan kaakiri (ilana Gbona), Fọto-lithography (Photo-lithography), Etch (Etch), Ion Implant (IonImplant), Tinrin Fiimu Growth (Dielectric Deposition), Kemikali Mechanical Mechanical (CMP) Awọn ilana isọdọtun kan. Awọn ibi-afẹde sputtering ti wa ni lilo ninu ilana ti "metallization". Ibi-afẹde naa jẹ bombarded pẹlu awọn patikulu agbara-giga nipasẹ awọn ohun elo ifisilẹ fiimu tinrin ati lẹhinna Layer irin kan pẹlu awọn iṣẹ kan pato ti ṣẹda lori wafer ohun alumọni, gẹgẹ bi Layer conductive, Layer idena. Duro.Niwọn igba ti awọn ilana ti gbogbo awọn semikondokito yatọ lẹhinna diẹ ninu awọn ipo lẹẹkọọkan nilo lati rii daju pe eto wa ni deede nitorinaa a beere diẹ ninu awọn iru awọn ohun elo idalẹnu ni awọn ipele kan ti iṣelọpọ lati jẹrisi awọn ipa.
Akoko ifiweranṣẹ: Jan-17-2022