Malengo ya kunyunyizia yanayotumika katika saketi zilizounganishwa za nusu-semiconductor

Malengo ya kutelezaHutumika zaidi katika tasnia za kielektroniki na habari, kama vile saketi zilizounganishwa, uhifadhi wa habari, maonyesho ya fuwele za kioevu, kumbukumbu za leza, vifaa vya kudhibiti kielektroniki, n.k. Pia zinaweza kutumika katika uwanja wa mipako ya glasi, na pia katika vifaa vinavyostahimili uchakavu, upinzani wa kutu wa halijoto ya juu, bidhaa za mapambo ya hali ya juu na tasnia zingine.

Kunyunyizia ni mojawapo ya mbinu kuu za kuandaa vifaa vya filamu nyembamba.Inatumia ioni zinazozalishwa na vyanzo vya ioni ili kuharakisha na kukusanyika katika ombwe ili kuunda mihimili ya ioni ya nishati ya kasi ya juu, kushambulia uso mgumu, na kubadilishana nishati ya kinetiki kati ya ioni na atomi za uso mgumu. Atomi zilizo kwenye uso mgumu huondoka kwenye uso mgumu na kuwekwa kwenye uso wa substrate. Imara iliyopigwa ni malighafi ya kuweka filamu nyembamba kwa kunyunyizia, ambayo huitwa shabaha ya kunyunyizia. Aina mbalimbali za nyenzo za filamu nyembamba zilizopigwa zimetumika sana katika saketi jumuishi za nusu-semiconductor, vyombo vya kurekodi, maonyesho ya paneli tambarare na mipako ya uso wa kazi.

Miongoni mwa tasnia zote za matumizi, tasnia ya nusu-semiconductor ina mahitaji magumu zaidi ya ubora kwa filamu za kunyunyizia shabaha. Malengo ya kunyunyizia chuma yenye usafi wa hali ya juu hutumiwa hasa katika utengenezaji wa wafer na michakato ya hali ya juu ya ufungashaji. Kwa mfano, utengenezaji wa chips, tunaweza kuona kwamba kutoka kwa wafer ya silicon hadi chips, inahitaji kupitia michakato 7 mikubwa ya uzalishaji, ambayo ni uenezaji (Mchakato wa Joto), Photo-lithography (Photo-lithography), Etch (Etch), Ion Implantation (IonImplant), Ukuaji wa Filamu Nyembamba (Dielectric Deposition), Kemikali ya Kung'arisha Mitambo (CMP), Metalization (Metalization). Michakato hiyo inalingana moja baada ya nyingine. Lengo la kunyunyizia hutumika katika mchakato wa "metallization". Lengo hupigwa chembe zenye nishati nyingi na vifaa vyembamba vya kuweka filamu na kisha safu ya chuma yenye kazi maalum huundwa kwenye wafer ya silicon, kama vile safu ya upitishaji, safu ya kizuizi. Subiri. Kwa kuwa michakato ya nusu-semiconductors nzima hutofautiana, basi hali zingine zinahitajika ili kuthibitisha kuwa mfumo upo kwa usahihi kwa hivyo tunahitaji aina fulani za vifaa vya bandia katika hatua fulani za uzalishaji ili kuthibitisha athari.