Sib pou pulverizasyonYo sitou itilize nan endistri elektwonik ak enfòmasyon, tankou sikui entegre, depo enfòmasyon, ekspozisyon kristal likid, memwa lazè, aparèy kontwòl elektwonik, elatriye. Yo kapab itilize tou nan domèn kouch vè, osi byen ke nan materyèl ki reziste mete, rezistans korozyon tanperati ki wo, pwodwi dekoratif wo nivo ak lòt endistri yo.
Sputtering se youn nan teknik prensipal pou prepare materyèl fim mens.Li itilize iyon ki pwodui pa sous iyon yo pou akselere epi rasanble nan yon vid pou fòme gwo bout bwa iyon enèji gwo vitès, bonbade sifas solid la, epi echanje enèji sinetik ant iyon yo ak atòm sifas solid yo. Atòm ki sou sifas solid la kite solid la epi yo depoze sou sifas substra a. Solid bonbade a se materyèl bwit pou depoze fim mens pa pulverizasyon, sa yo rele sib pulverizasyon. Diferan kalite materyèl fim mens pulverizasyon yo te lajman itilize nan sikui entegre semi-kondiktè, medya anrejistreman, ekran plat ak kouch sifas pyès travay.
Pami tout endistri aplikasyon yo, endistri semi-kondiktè a gen egzijans kalite ki pi strik pou fim sib pou pulverizasyon. Sib pulverizasyon metal ki gen gwo pite yo sitou itilize nan fabrikasyon wafer ak pwosesis anbalaj avanse. Si nou pran fabrikasyon chip kòm yon egzanp, nou ka wè ke soti nan yon wafer silikon rive nan yon chip, li bezwen pase nan 7 pwosesis pwodiksyon prensipal, sètadi difizyon (Pwosesis Tèmik), Foto-litografi (Photo-litography), Etch (Etch), Enplantasyon Ion (IonImplant), Kwasans Fim Mens (Depozisyon Dielectric), Polisaj Chimik Mekanik (CMP), Metalizasyon (Metalization). Pwosesis yo koresponn youn pa youn. Sib pulverizasyon an itilize nan pwosesis "metalizasyon". Sib la bonbade ak patikil ki gen anpil enèji pa ekipman depo fim mens epi answit yon kouch metal ki gen fonksyon espesifik fòme sou wafer silikon an, tankou kouch kondiktif, kouch baryè. Tann. Piske pwosesis semi-kondiktè yo varye, kèk sitiyasyon okazyonèl nesesè pou verifye sistèm nan egziste kòrèkteman, kidonk nou mande kèk kalite materyèl fo nan sèten etap pwodiksyon pou konfime efè yo.
Dat piblikasyon: 17 janvye 2022