Purkash nishonlariasosan elektronika va axborot sanoatida, masalan, integral mikrosxemalar, axborotni saqlash, suyuq kristalli displeylar, lazer xotiralari, elektron boshqaruv moslamalari va boshqalarda qo'llaniladi. Ular shisha qoplama sohasida, shuningdek, aşınmaya bardoshli materiallar, yuqori haroratli korroziyaga chidamlilik, yuqori darajadagi dekorativ mahsulotlar va boshqa sohalarda ham qo'llanilishi mumkin.
Purkash yupqa plyonkali materiallarni tayyorlashning asosiy usullaridan biridir.U ion manbalari tomonidan hosil qilingan ionlardan vakuumda tezlashish va agregatsiya qilish uchun foydalanadi, bu esa yuqori tezlikdagi energiya ion nurlarini hosil qiladi, qattiq sirtni bombardimon qiladi va ionlar va qattiq sirt atomlari o'rtasida kinetik energiya almashinuvini ta'minlaydi. Qattiq sirtdagi atomlar qattiq moddadan chiqib, substrat yuzasiga cho'kadi. Bombardimon qilingan qattiq modda purkash orqali yupqa plyonkalarni cho'ktirish uchun xom ashyo bo'lib, bu purkash nishoni deb ataladi. Turli xil purkalgan yupqa plyonka materiallari yarimo'tkazgichli integral mikrosxemalar, yozuv vositalari, yassi panelli displeylar va ishchi sirt qoplamalarida keng qo'llanilgan.
Barcha qo'llanilish sohalari orasida yarimo'tkazgichlar sanoati nishonga purkash plyonkalari uchun eng qat'iy sifat talablariga ega. Yuqori toza metall purkash nishonlari asosan plastinka ishlab chiqarishda va ilg'or qadoqlash jarayonlarida qo'llaniladi. Chip ishlab chiqarishni misol qilib olsak, kremniy plastinkasidan chipga o'tish uchun 7 ta asosiy ishlab chiqarish jarayonidan o'tish kerakligini ko'rishimiz mumkin, ya'ni diffuziya (Issiqlik jarayoni), fotolitografiya (Fotolitografiya), o'yish (O'yish), ion implantatsiyasi (Ion Implantatsiyasi), yupqa plyonka o'sishi (Dielektrik cho'ktirish), kimyoviy mexanik abrazivlash (CMP), metallizatsiya (Metalizatsiya). Jarayonlar birma-bir mos keladi. Puflash nishoni "metallizatsiya" jarayonida qo'llaniladi. Nishon yupqa plyonka cho'ktirish uskunalari tomonidan yuqori energiyali zarralar bilan bombardimon qilinadi va keyin kremniy plastinkasida o'tkazuvchan qatlam, to'siq qatlami kabi o'ziga xos funktsiyalarga ega metall qatlam hosil bo'ladi. Kuting. Barcha yarimo'tkazgichlarning jarayonlari har xil bo'lganligi sababli, tizimning to'g'ri mavjudligini tekshirish uchun vaqti-vaqti bilan vaziyatlar talab qilinadi, shuning uchun biz ishlab chiqarishning ma'lum bosqichlarida ta'sirni tasdiqlash uchun ba'zi turdagi soxta materiallarni talab qilamiz.
Nashr vaqti: 2022-yil 17-yanvar