स्पटरिंग लक्ष्यमुख्य रूप से इलेक्ट्रॉनिक्स और सूचना उद्योगों में उपयोग किया जाता है, जैसे एकीकृत सर्किट, सूचना भंडारण, लिक्विड क्रिस्टल डिस्प्ले, लेजर मेमोरी, इलेक्ट्रॉनिक नियंत्रण उपकरण, आदि। उनका उपयोग ग्लास कोटिंग के क्षेत्र में भी किया जा सकता है, साथ ही पहनने के लिए प्रतिरोधी सामग्री, उच्च तापमान संक्षारण प्रतिरोध, उच्च अंत सजावटी उत्पादों और अन्य उद्योगों में भी इस्तेमाल किया जा सकता है।
स्पटरिंग पतली फिल्म सामग्री तैयार करने की मुख्य तकनीकों में से एक है।यह आयन स्रोतों द्वारा उत्पन्न आयनों का उपयोग करके उच्च गति वाली ऊर्जा आयन बीम बनाने, ठोस सतह पर बमबारी करने और आयनों और ठोस सतह परमाणुओं के बीच गतिज ऊर्जा का आदान-प्रदान करने के लिए वैक्यूम में तेजी लाने और एकत्र करने के लिए करता है। ठोस सतह पर परमाणु ठोस को छोड़ देते हैं और सब्सट्रेट की सतह पर जमा हो जाते हैं। बमबारी वाला ठोस स्पटरिंग द्वारा पतली फिल्मों को जमा करने के लिए कच्चा माल है, जिसे स्पटरिंग लक्ष्य कहा जाता है। सेमीकंडक्टर एकीकृत सर्किट, रिकॉर्डिंग मीडिया, फ्लैट-पैनल डिस्प्ले और वर्कपीस सतह कोटिंग्स में विभिन्न प्रकार की स्पटर की गई पतली फिल्म सामग्री का व्यापक रूप से उपयोग किया गया है।
सभी अनुप्रयोग उद्योगों में, सेमीकंडक्टर उद्योग में लक्ष्य स्पटरिंग फिल्मों के लिए सबसे कड़े गुणवत्ता की आवश्यकताएं हैं। उच्च शुद्धता वाले धातु स्पटरिंग लक्ष्यों का उपयोग मुख्य रूप से वेफर निर्माण और उन्नत पैकेजिंग प्रक्रियाओं में किया जाता है। एक उदाहरण के रूप में चिप निर्माण को लेते हुए, हम देख सकते हैं कि एक सिलिकॉन वेफर से एक चिप तक, इसे 7 प्रमुख उत्पादन प्रक्रियाओं से गुजरना पड़ता है, अर्थात् प्रसार (थर्मल प्रोसेस), फोटो-लिथोग्राफी (फोटो-लिथोग्राफी), एच (एच), आयन इम्प्लांटेशन (आयनइम्प्लांट), पतली फिल्म वृद्धि (डाइइलेक्ट्रिक डिपोजिशन), केमिकल मैकेनिकल पॉलिशिंग (सीएमपी), मेटलाइजेशन (मेटलाइजेशन) प्रक्रियाएं एक-एक करके मेल खाती हैं। स्पटरिंग टारगेट का उपयोग "धातुकरण" की प्रक्रिया में किया जाता है। लक्ष्य को पतली फिल्म जमाव उपकरण द्वारा उच्च-ऊर्जा कणों के साथ बमबारी की जाती है रुकिए। चूंकि संपूर्ण अर्धचालकों की प्रक्रियाएं अलग-अलग हैं, इसलिए सिस्टम के सही ढंग से अस्तित्व में होने की पुष्टि करने के लिए कुछ सामयिक स्थितियों की आवश्यकता होती है, इसलिए हम प्रभावों की पुष्टि करने के लिए उत्पादन के कुछ चरणों में कुछ प्रकार की डमी सामग्रियों की मांग करते हैं।
पोस्ट करने का समय: जनवरी-17-2022