स्पटरिंग लक्ष्यइनका उपयोग मुख्य रूप से इलेक्ट्रॉनिक्स और सूचना उद्योगों में किया जाता है, जैसे कि एकीकृत सर्किट, सूचना भंडारण, लिक्विड क्रिस्टल डिस्प्ले, लेजर मेमोरी, इलेक्ट्रॉनिक नियंत्रण उपकरण आदि। इनका उपयोग ग्लास कोटिंग के क्षेत्र में, साथ ही घिसाव-प्रतिरोधी सामग्री, उच्च-तापमान संक्षारण प्रतिरोध, उच्च-स्तरीय सजावटी उत्पादों और अन्य उद्योगों में भी किया जा सकता है।
स्पटरिंग पतली फिल्म सामग्री तैयार करने की मुख्य तकनीकों में से एक है।यह प्रक्रिया आयन स्रोतों द्वारा उत्पन्न आयनों का उपयोग करके निर्वात में उन्हें त्वरित और एकत्रित करके उच्च गति वाले ऊर्जा आयन बीम बनाती है, जो ठोस सतह पर बमबारी करते हैं और आयनों तथा ठोस सतह के परमाणुओं के बीच गतिज ऊर्जा का आदान-प्रदान करते हैं। ठोस सतह पर मौजूद परमाणु ठोस को छोड़कर सब्सट्रेट की सतह पर जमा हो जाते हैं। बमबारी की गई ठोस सतह स्पटरिंग द्वारा पतली फिल्मों को जमा करने के लिए कच्चा माल होती है, जिसे स्पटरिंग लक्ष्य कहा जाता है। विभिन्न प्रकार की स्पटर की गई पतली फिल्म सामग्री का व्यापक रूप से सेमीकंडक्टर एकीकृत सर्किट, रिकॉर्डिंग मीडिया, फ्लैट-पैनल डिस्प्ले और वर्कपीस सतह कोटिंग्स में उपयोग किया जाता है।
सभी अनुप्रयोग उद्योगों में, सेमीकंडक्टर उद्योग में टारगेट स्पटरिंग फिल्मों के लिए सबसे सख्त गुणवत्ता आवश्यकताएं हैं। उच्च-शुद्धता वाले धातु स्पटरिंग टारगेट मुख्य रूप से वेफर निर्माण और उन्नत पैकेजिंग प्रक्रियाओं में उपयोग किए जाते हैं। चिप निर्माण को उदाहरण के तौर पर लें, तो हम देख सकते हैं कि एक सिलिकॉन वेफर से चिप बनने तक, इसे 7 प्रमुख उत्पादन प्रक्रियाओं से गुजरना पड़ता है, अर्थात् विसरण (थर्मल प्रक्रिया), फोटोलिथोग्राफी (फोटोलिथोग्राफी), नक़्क़ाशी (एचिंग), आयन प्रत्यारोपण (आयन इम्प्लांट), पतली फिल्म वृद्धि (डाइइलेक्ट्रिक डिपोजिशन), रासायनिक यांत्रिक पॉलिशिंग (सीएमपी), और धातुकरण (मेटलाइजेशन)। ये प्रक्रियाएं एक-एक करके पूरी होती हैं। स्पटरिंग टारगेट का उपयोग "धातुकरण" की प्रक्रिया में किया जाता है। पतली फिल्म जमाव उपकरण द्वारा टारगेट पर उच्च-ऊर्जा कणों की बमबारी की जाती है और फिर सिलिकॉन वेफर पर विशिष्ट कार्यों वाली धातु की परत बनाई जाती है, जैसे कि चालक परत, अवरोधक परत। रुकिए। चूंकि संपूर्ण अर्धचालकों की प्रक्रियाएं भिन्न-भिन्न होती हैं, इसलिए सिस्टम के सही ढंग से मौजूद होने की पुष्टि करने के लिए कुछ आकस्मिक स्थितियों की आवश्यकता होती है, इसलिए हम उत्पादन के कुछ चरणों में प्रभावों की पुष्टि करने के लिए कुछ प्रकार की नकली सामग्री की मांग करते हैं।
पोस्ट करने का समय: 17 जनवरी 2022