తడబడుతున్న లక్ష్యాలుఇవి ప్రధానంగా ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్లు, సమాచార నిల్వ, లిక్విడ్ క్రిస్టల్ డిస్ప్లేలు, లేజర్ మెమరీలు, ఎలక్ట్రానిక్ నియంత్రణ పరికరాలు మొదలైన ఎలక్ట్రానిక్స్ మరియు సమాచార పరిశ్రమలలో ఉపయోగించబడతాయి. వీటిని గ్లాస్ కోటింగ్ రంగంలో, అలాగే రాపిడి నిరోధక పదార్థాలు, అధిక-ఉష్ణోగ్రత తుప్పు నిరోధకత, ఉన్నత-స్థాయి అలంకరణ ఉత్పత్తులు మరియు ఇతర పరిశ్రమలలో కూడా ఉపయోగించవచ్చు.
పలుచని పొర పదార్థాలను తయారు చేయడానికి ఉపయోగించే ప్రధాన పద్ధతులలో స్పుటరింగ్ ఒకటి.ఇది అయాన్ సోర్స్ల ద్వారా ఉత్పత్తి చేయబడిన అయాన్లను వాక్యూమ్లో వేగవంతం చేసి, సమీకరించి, అధిక-వేగ శక్తి అయాన్ పుంజాలుగా ఏర్పరుస్తుంది. ఈ పుంజాలు ఘన ఉపరితలంపై దాడి చేసి, అయాన్లు మరియు ఘన ఉపరితల అణువుల మధ్య గతిజ శక్తిని మార్పిడి చేసుకుంటాయి. ఘన ఉపరితలంపై ఉన్న అణువులు ఆ ఘన పదార్థాన్ని విడిచిపెట్టి, సబ్స్ట్రేట్ ఉపరితలంపై నిక్షిప్తం చేయబడతాయి. ఈ విధంగా దాడికి గురైన ఘన పదార్థమే, స్పుటరింగ్ ద్వారా పలుచని పొరలను నిక్షేపించడానికి ముడి పదార్థంగా ఉపయోగపడుతుంది, దీనిని స్పుటరింగ్ టార్గెట్ అని పిలుస్తారు. వివిధ రకాల స్పుటరింగ్ ద్వారా తయారైన పలుచని పొర పదార్థాలు సెమీకండక్టర్ ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్లు, రికార్డింగ్ మీడియా, ఫ్లాట్-ప్యానెల్ డిస్ప్లేలు మరియు వర్క్పీస్ ఉపరితల పూతలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి.
అన్ని అప్లికేషన్ పరిశ్రమలలో, సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమకు టార్గెట్ స్పుటరింగ్ ఫిల్మ్ల కోసం అత్యంత కఠినమైన నాణ్యతా అవసరాలు ఉన్నాయి. అధిక-స్వచ్ఛత గల మెటల్ స్పుటరింగ్ టార్గెట్లను ప్రధానంగా వేఫర్ తయారీ మరియు అధునాతన ప్యాకేజింగ్ ప్రక్రియలలో ఉపయోగిస్తారు. చిప్ తయారీని ఉదాహరణగా తీసుకుంటే, ఒక సిలికాన్ వేఫర్ నుండి చిప్గా మారడానికి, అది 7 ప్రధాన ఉత్పత్తి ప్రక్రియల గుండా వెళ్ళవలసి ఉంటుందని మనం చూడవచ్చు, అవి: డిఫ్యూజన్ (థర్మల్ ప్రాసెస్), ఫోటో-లిథోగ్రఫీ (ఫోటో-లిథోగ్రఫీ), ఎచ్ (ఎచ్), అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ (అయాన్ ఇంప్లాంట్), థిన్ ఫిల్మ్ గ్రోత్ (డైఎలెక్ట్రిక్ డిపోజిషన్), కెమికల్ మెకానికల్ పాలిషింగ్ (CMP), మెటలైజేషన్ (మెటలైజేషన్). ఈ ప్రక్రియలు ఒకదాని తర్వాత ఒకటిగా ఉంటాయి. "మెటలైజేషన్" ప్రక్రియలో స్పుటరింగ్ టార్గెట్ను ఉపయోగిస్తారు. థిన్ ఫిల్మ్ డిపోజిషన్ పరికరాల ద్వారా టార్గెట్పై అధిక-శక్తి కణాలను ప్రయోగిస్తారు, ఆ తర్వాత సిలికాన్ వేఫర్పై వాహక పొర, అవరోధ పొర వంటి నిర్దిష్ట విధులతో కూడిన లోహపు పొర ఏర్పడుతుంది. ఆగండి. మొత్తం సెమీకండక్టర్ల తయారీ ప్రక్రియలు విభిన్నంగా ఉంటాయి కాబట్టి, వ్యవస్థ సరిగ్గా పనిచేస్తుందో లేదో ధృవీకరించడానికి కొన్ని ప్రత్యేక పరిస్థితులు అవసరమవుతాయి. అందువల్ల, ప్రభావాలను నిర్ధారించుకోవడానికి ఉత్పత్తిలోని కొన్ని దశలలో మేము కొన్ని రకాల డమ్మీ పదార్థాలను కోరతాము.
పోస్ట్ చేసిన సమయం: జనవరి-17-2022