Sputtering helburuakbatez ere elektronika eta informazio industrietan erabiltzen dira, hala nola zirkuitu integratuetan, informazio biltegiratzean, kristal likidozko pantailetan, laser memorietan, kontrol gailu elektronikoetan, etab. Beira estalduraren arloan ere erabil daitezke, baita higaduraren aurkako materialetan, tenperatura altuko korrosioarekiko erresistentzian, goi-mailako produktu apaingarrietan eta beste industria batzuetan ere.
Sputtering-a film meheko materialak prestatzeko teknika nagusietako bat da.Ioi iturriek sortutako ioiak erabiltzen ditu hutsean azeleratu eta elkartzeko, abiadura handiko energia ioi sorta osatzeko, gainazal solidoa bonbardatzeko eta energia zinetikoa ioien eta gainazal solidoko atomoen artean trukatzeko. Gainazal solidoan dauden atomoek solidoa uzten dute eta substratuaren gainazalean metatzen dira. Bonbardatutako solidoa da film meheak sputtering bidez metatzeko lehengaia, eta horri sputtering helburua deitzen zaio. Sputtering bidezko film meheko material mota desberdinak asko erabili dira zirkuitu integratu erdieroaleetan, grabazio euskarrietan, pantaila lauen pantailetan eta piezen gainazaleko estalduretan.
Aplikazio-industria guztien artean, erdieroaleen industriak ditu kalitate-eskakizun zorrotzenak sputtering-eko filmen kasuan. Purutasun handiko metal-sputtering helburuak batez ere obleen fabrikazioan eta ontziratze-prozesu aurreratuetan erabiltzen dira. Txipen fabrikazioa adibide gisa hartuta, ikus dezakegu siliziozko oblea batetik txipara, 7 ekoizpen-prozesu nagusi igaro behar direla: difusioa (Prozesu Termikoa), Foto-litografia (Foto-litografia), Grabaketa (Grabaketa), Ioi Inplantazioa (IonInplantea), Film Mehearen Hazkuntza (Deposizio Dielektrikoa), Leuntze Kimiko Mekanikoa (CMP), Metalizazioa (Metalizazioa). Prozesuak banan-banan bat datoz. Sputtering helburua "metalizazio" prozesuan erabiltzen da. Helburua energia handiko partikulekin bonbardatzen da film mehearen deposizio-ekipoen bidez, eta ondoren funtzio espezifikoak dituen metal-geruza bat sortzen da siliziozko oblean, hala nola geruza eroalea, hesi-geruza. Itxaron. Erdieroale osoen prozesuak anitzak direnez, noizean behin egoera batzuk behar dira sistema behar bezala existitzen dela egiaztatzeko, beraz, material faltsu mota batzuk eskatzen ditugu ekoizpen-etapa jakin batzuetan efektuak berresteko.
Argitaratze data: 2022ko urtarrilaren 17a