Target penyemprotanTerutama digunakan dalam industri elektronik dan informasi, seperti sirkuit terpadu, penyimpanan informasi, tampilan kristal cair, memori laser, perangkat kontrol elektronik, dll. Mereka juga dapat digunakan dalam bidang pelapisan kaca, serta dalam bahan tahan aus, ketahanan korosi suhu tinggi, produk dekoratif kelas atas, dan industri lainnya.
Sputtering adalah salah satu teknik utama untuk menyiapkan bahan film tipis.Ia menggunakan ion yang dihasilkan oleh sumber ion untuk mempercepat dan mengagregasi dalam ruang hampa untuk membentuk berkas ion energi berkecepatan tinggi, membombardir permukaan padat, dan bertukar energi kinetik antara ion dan atom permukaan padat. Atom pada permukaan padat meninggalkan padatan dan diendapkan pada permukaan substrat. Padatan yang dibombardir adalah bahan baku untuk mengendapkan lapisan tipis dengan sputtering, yang disebut target sputtering. Berbagai jenis bahan lapisan tipis sputtering telah banyak digunakan dalam sirkuit terpadu semikonduktor, media perekaman, tampilan panel datar, dan pelapis permukaan benda kerja.
Di antara semua industri aplikasi, industri semikonduktor memiliki persyaratan kualitas yang paling ketat untuk film sputtering target. Target sputtering logam dengan kemurnian tinggi terutama digunakan dalam pembuatan wafer dan proses pengemasan tingkat lanjut. Mengambil contoh pembuatan chip, kita dapat melihat bahwa dari wafer silikon hingga chip, ia perlu melalui 7 proses produksi utama, yaitu difusi (Proses Termal), Foto-litografi (Foto-litografi), Etch (Etch), Implantasi Ion (IonImplant), Pertumbuhan Film Tipis (Deposisi Dielektrik), Poles Mekanik Kimia (CMP), Metalisasi (Metalisasi) Proses-proses tersebut berhubungan satu per satu. Target sputtering digunakan dalam proses "metalisasi". Target dibombardir dengan partikel berenergi tinggi oleh peralatan deposisi film tipis dan kemudian lapisan logam dengan fungsi spesifik dibentuk pada wafer silikon, seperti lapisan konduktif, lapisan penghalang. Tunggu. Karena proses keseluruhan semikonduktor bervariasi maka beberapa situasi sesekali diperlukan untuk memverifikasi sistem tersebut ada dengan benar sehingga kami memerlukan beberapa jenis material tiruan pada tahap produksi tertentu untuk mengonfirmasi efeknya.
Waktu posting: 17-Jan-2022