स्पटरिङ लक्ष्यहरूमुख्यतया इलेक्ट्रोनिक्स र सूचना उद्योगहरूमा प्रयोग गरिन्छ, जस्तै एकीकृत सर्किट, सूचना भण्डारण, तरल क्रिस्टल डिस्प्ले, लेजर मेमोरी, इलेक्ट्रोनिक नियन्त्रण उपकरणहरू, आदि। तिनीहरू गिलास कोटिंगको क्षेत्रमा, साथै पहिरन-प्रतिरोधी सामग्रीहरूमा पनि प्रयोग गर्न सकिन्छ, उच्च-तापमान जंग प्रतिरोध, उच्च-अन्त सजावटी उत्पादनहरू र अन्य उद्योगहरू।
पातलो फिल्म सामग्री तयार गर्ने मुख्य प्रविधिहरू मध्ये एक स्पटरिङ हो।यसले आयन स्रोतहरूद्वारा उत्पन्न हुने आयनहरूलाई तीव्र बनाउन र भ्याकुममा जम्मा गर्न प्रयोग गर्दछ जसले उच्च-गतिको ऊर्जा आयन बीमहरू बनाउँछ, ठोस सतहमा बमबारी गर्छ, र आयनहरू र ठोस सतह परमाणुहरू बीच गतिज ऊर्जा आदानप्रदान गर्छ। ठोस सतहमा रहेका परमाणुहरूले ठोस छोड्छन् र सब्सट्रेटको सतहमा जम्मा हुन्छन्। बमबारी गरिएको ठोस स्पटरिंग द्वारा पातलो फिल्महरू जम्मा गर्ने कच्चा माल हो, जसलाई स्पटरिंग लक्ष्य भनिन्छ। विभिन्न प्रकारका स्पटर गरिएको पातलो फिल्म सामग्रीहरू अर्धचालक एकीकृत सर्किटहरू, रेकर्डिङ मिडिया, फ्ल्याट-प्यानल डिस्प्लेहरू र वर्कपीस सतह कोटिंगहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिएको छ।
सबै अनुप्रयोग उद्योगहरू मध्ये, अर्धचालक उद्योगमा लक्ष्य स्पटरिंग फिल्महरूको लागि सबैभन्दा कडा गुणस्तर आवश्यकताहरू छन्। उच्च-शुद्धता धातु स्पटरिंग लक्ष्यहरू मुख्यतया वेफर निर्माण र उन्नत प्याकेजिङ प्रक्रियाहरूमा प्रयोग गरिन्छ। उदाहरणको रूपमा चिप निर्माण लिँदा, हामी देख्न सक्छौं कि सिलिकन वेफरदेखि चिपसम्म, यसलाई ७ प्रमुख उत्पादन प्रक्रियाहरू मार्फत जान आवश्यक छ, अर्थात् प्रसार (थर्मल प्रक्रिया), फोटो-लिथोग्राफी (फोटो-लिथोग्राफी), एच (एच), आयन इम्प्लान्टेशन (आयन इम्प्लान्ट), पातलो फिल्म वृद्धि (डाइलेक्ट्रिक निक्षेप), रासायनिक मेकानिकल पॉलिशिंग (सीएमपी), धातुकरण (धातुकरण) प्रक्रियाहरू एक-एक गरी मेल खान्छ। स्पटरिंग लक्ष्य "धातुकरण" को प्रक्रियामा प्रयोग गरिन्छ। लक्ष्यलाई पातलो फिल्म निक्षेपण उपकरणहरूद्वारा उच्च-ऊर्जा कणहरूले बमबारी गरिन्छ र त्यसपछि सिलिकन वेफरमा विशिष्ट कार्यहरू भएको धातु तह बनाइन्छ, जस्तै प्रवाहकीय तह, अवरोध तह। पर्खनुहोस्। सम्पूर्ण अर्धचालकहरूको प्रक्रियाहरू फरक-फरक हुने भएकाले प्रणाली सही रूपमा अवस्थित छ कि छैन भनेर प्रमाणित गर्न केही कहिलेकाहीं परिस्थितिहरू आवश्यक पर्दछ, त्यसैले हामी प्रभावहरू पुष्टि गर्न उत्पादनको निश्चित चरणहरूमा केही प्रकारका डमी सामग्रीहरूको माग गर्छौं।
पोस्ट समय: जनवरी-१७-२०२२