Naprašovacie terčePoužívajú sa hlavne v elektronickom a informačnom priemysle, ako sú integrované obvody, ukladanie informácií, displeje z tekutých kryštálov, laserové pamäte, elektronické riadiace zariadenia atď. Môžu sa použiť aj v oblasti povrchovej úpravy skla, ako aj v materiáloch odolných voči opotrebovaniu, odolnosti voči korózii pri vysokých teplotách, vo vysoko kvalitných dekoratívnych výrobkoch a v iných odvetviach.
Naprašovanie je jednou z hlavných techník prípravy tenkovrstvových materiálov.Využíva ióny generované iónovými zdrojmi na urýchlenie a agregáciu vo vákuu za vzniku vysokorýchlostných energetických iónových lúčov, bombardovanie pevného povrchu a výmenu kinetickej energie medzi iónmi a atómami na pevnom povrchu. Atómy na pevnom povrchu opúšťajú pevnú látku a ukladajú sa na povrchu substrátu. Bombardovaná pevná látka je surovinou na nanášanie tenkých vrstiev naprašovaním, ktoré sa nazýva naprašovací terč. Rôzne typy naprašovaných tenkovrstvových materiálov sa široko používajú v polovodičových integrovaných obvodoch, záznamových médiách, plochých displejoch a povrchových náteroch obrobkov.
Spomedzi všetkých aplikačných odvetví má polovodičový priemysel najprísnejšie požiadavky na kvalitu terčov na naprašovanie. Vysoko čisté kovové naprašovacie terče sa používajú hlavne pri výrobe doštičiek a pokročilých procesoch balenia. Na príklade výroby čipov vidíme, že od kremíkovej doštičky po čip musí prejsť 7 hlavnými výrobnými procesmi, a to difúziou (tepelný proces), fotolitografiou (fotolitografia), leptaním (leptaním), iónovou implantáciou (iónovou implantáciou), rastom tenkých vrstiev (dielektrická depozícia), chemicko-mechanickým leštením (CMP) a metalizáciou (metalizáciou). Procesy si navzájom zodpovedajú. Naprašovací terč sa používa v procese „metalizácie“. Terč je bombardovaný vysokoenergetickými časticami pomocou zariadenia na naprašovanie tenkých vrstiev a potom sa na kremíkovej doštičke vytvorí kovová vrstva so špecifickými funkciami, ako napríklad vodivá vrstva, bariérová vrstva. Keďže procesy všetkých polovodičov sú rôzne, sú občas potrebné určité situácie na overenie správnej funkčnosti systému, preto v určitých fázach výroby požadujeme určité druhy testovacieho materiálu na potvrdenie účinkov.
Čas uverejnenia: 17. januára 2022