સેમિકન્ડક્ટર ઇન્ટિગ્રેટેડ સર્કિટમાં વપરાતા સ્પટરિંગ લક્ષ્યો

સ્પટરિંગ લક્ષ્યોમુખ્યત્વે ઇલેક્ટ્રોનિક્સ અને માહિતી ઉદ્યોગોમાં ઉપયોગમાં લેવાય છે, જેમ કે ઇન્ટિગ્રેટેડ સર્કિટ, માહિતી સંગ્રહ, લિક્વિડ ક્રિસ્ટલ ડિસ્પ્લે, લેસર મેમરી, ઇલેક્ટ્રોનિક નિયંત્રણ ઉપકરણો, વગેરે. તેનો ઉપયોગ ગ્લાસ કોટિંગના ક્ષેત્રમાં તેમજ વસ્ત્રો-પ્રતિરોધક સામગ્રી, ઉચ્ચ-તાપમાન કાટ પ્રતિકાર, ઉચ્ચ-અંતિમ સુશોભન ઉત્પાદનો અને અન્ય ઉદ્યોગોમાં પણ થઈ શકે છે.

પાતળા ફિલ્મ સામગ્રી તૈયાર કરવા માટે સ્પટરિંગ એ મુખ્ય તકનીકોમાંની એક છે.તે આયન સ્ત્રોતો દ્વારા ઉત્પન્ન થતા આયનોનો ઉપયોગ વેક્યૂમમાં વેગ આપવા અને એકત્ર કરવા માટે કરે છે જેથી હાઇ-સ્પીડ એનર્જી આયન બીમ બને, ઘન સપાટી પર બોમ્બમારો થાય અને આયનો અને ઘન સપાટીના અણુઓ વચ્ચે ગતિ ઊર્જાનું વિનિમય થાય. ઘન સપાટી પરના અણુઓ ઘન છોડીને સબસ્ટ્રેટની સપાટી પર જમા થાય છે. બોમ્બાર્ડ સોલિડ એ સ્પટરિંગ દ્વારા પાતળી ફિલ્મો જમા કરવા માટેનો કાચો માલ છે, જેને સ્પટરિંગ ટાર્ગેટ કહેવામાં આવે છે. સેમિકન્ડક્ટર ઇન્ટિગ્રેટેડ સર્કિટ, રેકોર્ડિંગ મીડિયા, ફ્લેટ-પેનલ ડિસ્પ્લે અને વર્કપીસ સપાટી કોટિંગ્સમાં વિવિધ પ્રકારના સ્પટર્ડ થિન ફિલ્મ મટિરિયલનો વ્યાપકપણે ઉપયોગ કરવામાં આવ્યો છે.

બધા એપ્લિકેશન ઉદ્યોગોમાં, સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગમાં લક્ષ્ય સ્પટરિંગ ફિલ્મો માટે સૌથી કડક ગુણવત્તા આવશ્યકતાઓ છે. ઉચ્ચ-શુદ્ધતા મેટલ સ્પટરિંગ લક્ષ્યોનો ઉપયોગ મુખ્યત્વે વેફર ઉત્પાદન અને અદ્યતન પેકેજિંગ પ્રક્રિયાઓમાં થાય છે. ચિપ ઉત્પાદનને ઉદાહરણ તરીકે લેતા, આપણે જોઈ શકીએ છીએ કે સિલિકોન વેફરથી ચિપ સુધી, તેને 7 મુખ્ય ઉત્પાદન પ્રક્રિયાઓમાંથી પસાર થવાની જરૂર છે, જેમ કે પ્રસરણ (થર્મલ પ્રક્રિયા), ફોટો-લિથોગ્રાફી (ફોટો-લિથોગ્રાફી), એચ (એચ), આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન (આયનઇમ્પ્લાન્ટ), પાતળા ફિલ્મ વૃદ્ધિ (ડાઇલેક્ટ્રિક ડિપોઝિશન), કેમિકલ મિકેનિકલ પોલિશિંગ (CMP), મેટલાઇઝેશન (મેટલાઇઝેશન) પ્રક્રિયાઓ એક પછી એક અનુરૂપ છે. સ્પટરિંગ લક્ષ્યનો ઉપયોગ "મેટલાઇઝેશન" ની પ્રક્રિયામાં થાય છે. પાતળા ફિલ્મ ડિપોઝિશન સાધનો દ્વારા લક્ષ્ય પર ઉચ્ચ-ઊર્જા કણોથી બોમ્બમારો કરવામાં આવે છે અને પછી સિલિકોન વેફર પર ચોક્કસ કાર્યો સાથે મેટલ સ્તર બનાવવામાં આવે છે, જેમ કે વાહક સ્તર, અવરોધ સ્તર. રાહ જુઓ. સમગ્ર સેમિકન્ડક્ટર્સની પ્રક્રિયાઓ અલગ અલગ હોવાથી, સિસ્ટમ યોગ્ય રીતે અસ્તિત્વમાં છે કે નહીં તે ચકાસવા માટે કેટલીક પ્રસંગોપાત પરિસ્થિતિઓની જરૂર પડે છે, તેથી અમે અસરોની પુષ્ટિ કરવા માટે ઉત્પાદનના ચોક્કસ તબક્કામાં અમુક પ્રકારની ડમી સામગ્રીની માંગ કરીએ છીએ.