Püskürtme hedefleriesas olarak entegre devreler, bilgi depolama, sıvı kristal ekranlar, lazer bellekler, elektronik kontrol cihazları vb. gibi elektronik ve bilgi endüstrilerinde kullanılırlar. Ayrıca cam kaplama alanında, aşınmaya dayanıklı malzemelerde, yüksek sıcaklık korozyon direncinde, üst düzey dekoratif ürünlerde ve diğer endüstrilerde de kullanılabilirler.
Püskürtme, ince film malzemelerinin hazırlanmasında kullanılan başlıca tekniklerden biridir.İyon kaynakları tarafından üretilen iyonları, yüksek hızlı enerji iyon demetleri oluşturmak, katı yüzeyi bombardıman etmek ve iyonlar ile katı yüzey atomları arasında kinetik enerji alışverişi yapmak için vakumda hızlandırmak ve birleştirmek için kullanır. Katı yüzeydeki atomlar katıyı terk eder ve alt tabakanın yüzeyine biriktirilir. Bombardıman edilen katı, püskürtme hedefi olarak adlandırılan püskürtme yoluyla ince filmler biriktirmek için ham maddedir. Çeşitli tipte püskürtmeli ince film malzemeleri, yarı iletken entegre devrelerde, kayıt ortamlarında, düz panel ekranlarda ve iş parçası yüzey kaplamalarında yaygın olarak kullanılmıştır.
Tüm uygulama endüstrileri arasında, yarı iletken endüstrisi hedef püskürtme filmleri için en katı kalite gereksinimlerine sahiptir. Yüksek saflıkta metal püskürtme hedefleri esas olarak yonga imalatında ve gelişmiş paketleme süreçlerinde kullanılır. Örnek olarak yonga imalatını ele alırsak, bir silikon yongadan yongaya kadar 7 ana üretim sürecinden geçmesi gerektiğini görebiliriz: Difüzyon (Termal İşlem), Foto-litografi (Foto-litografi), Aşındırma (Aşındırma), İyon İmplantasyonu (İyonİmplantı), İnce Film Büyümesi (Dielektrik Biriktirme), Kimyasal Mekanik Parlatma (CMP), Metalizasyon (Metalizasyon) İşlemler birer birer karşılık gelir. Püskürtme hedefi "metalizasyon" sürecinde kullanılır. Hedef, ince film biriktirme ekipmanı tarafından yüksek enerjili parçacıklarla bombardımana tutulur ve daha sonra silikon yonga üzerinde iletken katman, bariyer katmanı gibi belirli işlevlere sahip bir metal katman oluşturulur. Bekleyin. Yarı iletkenlerin tüm prosesleri çeşitlilik gösterdiğinden sistemin doğru bir şekilde var olduğunu doğrulamak için bazı ara durumlara ihtiyaç duyulur, bu nedenle üretim sürecinin belirli aşamalarında etkileri doğrulamak için bazı sahte malzemeler talep ederiz.
Yayınlanma zamanı: 17-Oca-2022