Püskürtme hedefleriBaşlıca elektronik ve bilgi işlem endüstrilerinde, örneğin entegre devreler, bilgi depolama, sıvı kristal ekranlar, lazer bellekler, elektronik kontrol cihazları vb. alanlarda kullanılırlar. Ayrıca cam kaplama alanında, aşınmaya dayanıklı malzemelerde, yüksek sıcaklık korozyon direncinde, üst düzey dekoratif ürünlerde ve diğer sektörlerde de kullanılabilirler.
Püskürtme, ince film malzemeleri hazırlamanın başlıca tekniklerinden biridir.İyon kaynakları tarafından üretilen iyonları, vakumda hızlandırıp bir araya getirerek yüksek hızlı enerji iyon ışınları oluşturur, katı yüzeye çarpar ve iyonlar ile katı yüzey atomları arasında kinetik enerji alışverişi gerçekleşir. Katı yüzeydeki atomlar katıdan ayrılır ve alt tabakanın yüzeyine çökelir. Çarpılan katı, püskürtme yöntemiyle ince film kaplama için hammadde görevi görür ve püskürtme hedefi olarak adlandırılır. Çeşitli püskürtme yöntemiyle üretilen ince film malzemeleri, yarı iletken entegre devrelerde, kayıt ortamlarında, düz panel ekranlarda ve iş parçası yüzey kaplamalarında yaygın olarak kullanılmaktadır.
Tüm uygulama sektörleri arasında, yarı iletken endüstrisi, hedef püskürtme filmleri için en katı kalite gereksinimlerine sahiptir. Yüksek saflıkta metal püskürtme hedefleri, esas olarak wafer üretiminde ve gelişmiş paketleme süreçlerinde kullanılır. Çip üretimini örnek alırsak, bir silikon wafer'dan bir çipe kadar 7 ana üretim sürecinden geçmesi gerektiğini görebiliriz: Difüzyon (Termal İşlem), Fotolitografi (Fotolitografi), Aşındırma (Etch), İyon İmplantasyonu (IonImplant), İnce Film Büyütme (Dielektrik Kaplama), Kimyasal Mekanik Parlatma (CMP), Metalizasyon (Metalizasyon). Bu süreçler sırasıyla birbirine karşılık gelir. Püskürtme hedefi, "metalizasyon" sürecinde kullanılır. Hedef, ince film kaplama ekipmanı tarafından yüksek enerjili parçacıklarla bombardıman edilir ve daha sonra silikon wafer üzerinde iletken katman, bariyer katman gibi belirli işlevlere sahip bir metal katman oluşturulur. Bekleyin. Tüm yarı iletkenlerin üretim süreçleri farklılık gösterdiğinden, sistemin doğru şekilde çalıştığını doğrulamak için bazı ara sıra durumlara ihtiyaç duyulmaktadır; bu nedenle, etkileri doğrulamak için üretim aşamalarının belirli noktalarında bazı türde deneme malzemelerine ihtiyaç duyuyoruz.
Yayın tarihi: 17 Ocak 2022