Target sing nyemburUtamane digunakake ing industri elektronik lan informasi, kayata sirkuit terpadu, panyimpenan informasi, layar kristal cair, memori laser, piranti kontrol elektronik, lan liya-liyane. Iki uga bisa digunakake ing bidang lapisan kaca, uga ing bahan tahan aus, tahan korosi suhu dhuwur, produk dekoratif kelas atas lan industri liyane.
Sputtering minangka salah sawijining teknik utama kanggo nyiapake bahan film tipis.Iki nggunakake ion sing diasilake dening sumber ion kanggo nyepetake lan nglumpuk ing ruang hampa kanggo mbentuk sinar ion energi kecepatan tinggi, ngebom permukaan padat, lan ijol-ijolan energi kinetik antarane ion lan atom permukaan padat. Atom ing permukaan padat ninggalake padatan lan diendapkan ing permukaan substrat. Padatan sing dibom minangka bahan mentah kanggo ngendap film tipis kanthi sputtering, sing diarani target sputtering. Macem-macem jinis bahan film tipis sputtered wis digunakake sacara wiyar ing sirkuit terpadu semikonduktor, media rekaman, tampilan panel datar lan lapisan permukaan benda kerja.
Saka kabeh industri aplikasi, industri semikonduktor nduweni syarat kualitas sing paling ketat kanggo film sputtering target. Target sputtering logam kanthi kemurnian dhuwur utamane digunakake ing manufaktur wafer lan proses kemasan canggih. Njupuk manufaktur chip minangka conto, kita bisa ndeleng manawa saka wafer silikon nganti chip, kudu ngliwati 7 proses produksi utama, yaiku difusi (Proses Termal), Foto-litografi (Foto-litografi), Etch (Etch), Implantasi Ion (IonImplan), Pertumbuhan Film Tipis (Deposisi Dielektrik), Pemolesan Mekanik Kimia (CMP), Metalisasi (Metalisasi). Proses kasebut cocog siji-siji. Target sputtering digunakake ing proses "metallisasi". Target kasebut dibombardir karo partikel energi dhuwur dening peralatan deposisi film tipis lan banjur lapisan logam kanthi fungsi tartamtu dibentuk ing wafer silikon, kayata lapisan konduktif, lapisan penghalang. Enteni. Amarga proses kabeh semikonduktor beda-beda, mula sawetara kahanan sok-sok dibutuhake kanggo verifikasi sistem kasebut ana kanthi bener, mula kita nuntut sawetara jinis bahan dummy ing tahap produksi tartamtu kanggo ngonfirmasi efek kasebut.
Wektu kiriman: 17 Januari 2022