Ebumnuche sputtering ejiri na sekit agbakọtara na semiconductor

Ebumnuche ndị na-agbawa agbawaA na-ejikarị ha eme ihe n'ụlọ ọrụ eletrọniki na ozi, dịka sekit agbakwunyere, nchekwa ozi, ngosipụta kristal mmiri mmiri, ebe nchekwa laser, ngwaọrụ njikwa eletrọniki, wdg. Enwere ike iji ha mee ihe n'ọhịa nke mkpuchi iko, yana n'ihe ndị na-eguzogide iyi, iguzogide nchara dị elu, ngwaahịa ịchọ mma dị elu na ụlọ ọrụ ndị ọzọ.

Ịsa ihe bụ otu n'ime usoro ndị bụ isi maka ịkwadebe ihe nkiri dị gịrịgịrị.Ọ na-eji ion ndị isi iyi ion mepụtara iji mee ka ọ dị ngwa ma chịkọta n'ime oghere iji mepụta ion ike dị elu, na-agbagharị elu siri ike ahụ, ma na-agbanwe ike kinetic n'etiti ion na atọm elu siri ike. Atọm ndị dị n'elu siri ike na-ahapụ ihe siri ike ahụ ma na-etinye ha n'elu ihe ahụ. Ihe siri ike a na-akpọ bombarded solid bụ ihe eji etinye ihe nkiri dị gịrịgịrị site na sputtering, nke a na-akpọ sputtering target. A na-eji ụdị ihe nkiri dị gịrịgịrị dị iche iche eme ihe nke ukwuu na sekit semiconductor integrated, ihe ndekọ ihe, ihe ngosi panel dị larịị na mkpuchi elu workpiece.

N'ime ụlọ ọrụ niile e ji eme ihe, ụlọ ọrụ semiconductor nwere ihe kacha mkpa maka ihe nkiri sputtering. A na-ejikarị ihe mgbaru ọsọ sputtering metal dị elu eme ihe n'ịmepụta wafer na usoro nkwakọ ngwaahịa dị elu. Site n'ịmepụta chip dị ka ihe atụ, anyị nwere ike ịhụ na site na wafer silicon ruo na chip, ọ dị mkpa ịgafe usoro mmepụta asaa dị mkpa, ya bụ mgbasa (Usoro Okpomọkụ), Photo-lithography (Photo-lithography), Etch (Etch), Ion Implantation (IonImplant), Thin Film Growth (Dielectric Deposition), Chemical Mechanical Polishing (CMP), Metalization (Metalization) Usoro ndị a na-adakọ otu otu. A na-eji ihe mgbaru ọsọ sputtering eme ihe n'usoro "metalization". A na-eji ihe ndị dị ike na-agba ihe mgbaru ọsọ ahụ site na ngwa ihe nkiri dị gịrịgịrị, wee mepụta oyi akwa ígwè nwere ọrụ pụrụ iche na wafer silicon, dị ka oyi akwa conductive, oyi akwa mgbochi. Chere. Ebe ọ bụ na usoro nke semiconductors niile dị iche iche, mgbe ahụ ụfọdụ ọnọdụ dị mkpa iji hụ na sistemụ ahụ dị adị nke ọma, yabụ anyị chọrọ ụdị ihe ụfọdụ na-adịghị mma n'oge ụfọdụ nke mmepụta iji gosi mmetụta ya.