Sasaran anu ngabeledugUtamana dianggo dina industri éléktronik sareng inpormasi, sapertos sirkuit terpadu, panyimpenan inpormasi, tampilan kristal cair, mémori laser, alat kontrol éléktronik, jsb. Éta ogé tiasa dianggo dina widang palapis kaca, ogé dina bahan tahan aus, tahan korosi suhu luhur, produk hiasan kelas luhur sareng industri sanésna.
Sputtering mangrupikeun salah sahiji téknik utama pikeun nyiapkeun bahan film ipis.Ieu ngagunakeun ion anu dihasilkeun ku sumber ion pikeun ngagancangkeun sareng ngahiji dina rohangan hampa pikeun ngabentuk sinar ion énergi kecepatan tinggi, ngabombardir permukaan padet, sareng silih tukeur énergi kinétik antara ion sareng atom permukaan padet. Atom dina permukaan padet ninggalkeun padet sareng diendapkeun dina permukaan substrat. Padatan anu dibombardir nyaéta bahan baku pikeun neundeun pilem ipis ku cara sputtering, anu disebut target sputtering. Rupa-rupa jinis bahan pilem ipis sputtered parantos seueur dianggo dina sirkuit terpadu semikonduktor, média rékaman, tampilan panel datar sareng palapis permukaan benda kerja.
Di antara sadaya industri aplikasi, industri semikonduktor gaduh sarat kualitas anu paling ketat pikeun pilem sputtering target. Target sputtering logam murni anu luhur utamina dianggo dina manufaktur wafer sareng prosés kemasan canggih. Nyandak conto manufaktur chip, urang tiasa ningali yén ti wafer silikon dugi ka chip, éta kedah ngalangkungan 7 prosés produksi utama, nyaéta difusi (Prosés Termal), Foto-litografi (Foto-litografi), Etch (Etch), Implantasi Ion (IonImplan), Pertumbuhan Film Ipis (Deposisi Dielektrik), Pemolesan Mékanis Kimia (CMP), Metalisasi (Metalisasi). Prosésna saluyu hiji-hiji. Target sputtering dianggo dina prosés "metallisasi". Target dibombardir ku partikel énergi tinggi ku alat déposisi film ipis teras lapisan logam kalayan fungsi khusus dibentuk dina wafer silikon, sapertos lapisan konduktif, lapisan panghalang. Antosan. Kusabab prosés sadaya semikonduktor rupa-rupa maka sababaraha kaayaan kadang-kadang diperyogikeun pikeun mastikeun sistem éta aya kalayan leres janten urang meryogikeun sababaraha jinis bahan dummy dina tahapan produksi anu tangtu pikeun mastikeun épékna.
Waktos posting: 17-Jan-2022