Miri ta' sputteringJintużaw prinċipalment fl-industriji tal-elettronika u tal-informazzjoni, bħal ċirkwiti integrati, ħażna ta' informazzjoni, wirjiet tal-kristalli likwidi, memorji bil-lejżer, apparati elettroniċi ta' kontroll, eċċ. Jistgħu jintużaw ukoll fil-qasam tal-kisi tal-ħġieġ, kif ukoll f'materjali reżistenti għall-użu, reżistenza għall-korrużjoni f'temperatura għolja, prodotti dekorattivi ta' kwalità għolja u industriji oħra.
L-isputtering huwa wieħed mit-tekniki ewlenin għall-preparazzjoni ta' materjali ta' film irqiq.Juża joni ġġenerati minn sorsi ta' joni biex jaċċelera u jinġabar flimkien fil-vakwu biex jifforma raġġi ta' joni ta' enerġija b'veloċità għolja, ibbumbardja l-wiċċ solidu, u jiskambja l-enerġija kinetika bejn il-joni u l-atomi tal-wiċċ solidu. L-atomi fuq il-wiċċ solidu jitilqu mis-solidu u jiġu depożitati fuq il-wiċċ tas-sottostrat. Is-solidu bbumbardjat huwa l-materja prima għad-depożitu ta' films irqaq permezz ta' sputtering, li jissejjaħ sputtering target. Diversi tipi ta' materjali ta' film irqiq sputtered intużaw ħafna f'ċirkwiti integrati semikondutturi, mezzi ta' reġistrazzjoni, wirjiet flat-panel u kisi tal-wiċċ tal-biċċiet tax-xogħol.
Fost l-industriji kollha tal-applikazzjoni, l-industrija tas-semikondutturi għandha l-aktar rekwiżiti stretti ta' kwalità għall-films tal-isputtering tal-mira. Miri tal-isputtering tal-metall ta' purità għolja jintużaw prinċipalment fil-manifattura tal-wejfers u proċessi avvanzati tal-ippakkjar. Jekk nieħdu l-manifattura taċ-ċippa bħala eżempju, nistgħu naraw li minn wejfer tas-silikon għal ċippa, jeħtieġ li jgħaddi minn 7 proċessi ewlenin ta' produzzjoni, jiġifieri d-diffużjoni (Proċess Termali), Foto-litografija (Photo-litografija), Inċiżjoni (Etch), Impjantazzjoni Jonika (IonImplant), Tkabbir tal-Film Irqiq (Depożizzjoni Dielettrika), Lustrar Kimiku Mekkaniku (CMP), Metallizzazzjoni (Metalizzazzjoni). Il-proċessi jikkorrispondu wieħed wieħed. Il-mira tal-isputtering tintuża fil-proċess ta' "metallizzazzjoni". Il-mira tiġi bbumbardjata b'partiċelli ta' enerġija għolja minn tagħmir ta' depożizzjoni ta' film irqiq u mbagħad jiġi ffurmat saff tal-metall b'funzjonijiet speċifiċi fuq il-wejfer tas-silikon, bħal saff konduttiv, saff ta' barriera. Stenna. Peress li l-proċessi tas-semikondutturi kollha huma varjati allura xi sitwazzjonijiet okkażjonali huma meħtieġa biex jiġi vverifikat li s-sistema teżisti b'mod korrett għalhekk neħtieġu xi tipi ta' materjali finti f'ċerti stadji tal-produzzjoni biex nikkonfermaw l-effetti.
Ħin tal-pubblikazzjoni: 17 ta' Jannar 2022