Sasaran percikanterutamanya digunakan dalam industri elektronik dan maklumat, seperti litar bersepadu, penyimpanan maklumat, paparan kristal cecair, memori laser, peranti kawalan elektronik, dan sebagainya. Ia juga boleh digunakan dalam bidang salutan kaca, serta dalam bahan tahan haus, rintangan kakisan suhu tinggi, produk hiasan mewah dan industri lain.
Percikan air merupakan salah satu teknik utama untuk menyediakan bahan filem nipis.Ia menggunakan ion yang dihasilkan oleh sumber ion untuk memecut dan mengagregat dalam vakum bagi membentuk pancaran ion tenaga berkelajuan tinggi, mengebom permukaan pepejal, dan menukar tenaga kinetik antara ion dan atom permukaan pepejal. Atom pada permukaan pepejal meninggalkan pepejal dan termendap pada permukaan substrat. Pepejal yang dibom ialah bahan mentah untuk memendapkan filem nipis melalui percikan, yang dipanggil sasaran percikan. Pelbagai jenis bahan filem nipis yang dipercikan telah digunakan secara meluas dalam litar bersepadu semikonduktor, media rakaman, paparan panel rata dan salutan permukaan bahan kerja.
Antara semua industri aplikasi, industri semikonduktor mempunyai keperluan kualiti yang paling ketat untuk filem percikan sasaran. Sasaran percikan logam berketulenan tinggi digunakan terutamanya dalam pembuatan wafer dan proses pembungkusan lanjutan. Dengan mengambil pembuatan cip sebagai contoh, kita dapat melihat bahawa dari wafer silikon ke cip, ia perlu melalui 7 proses pengeluaran utama, iaitu resapan (Proses Termal), Foto-litografi (Foto-litografi), Etsa (Etsa), Implantasi Ion (Implan Ion), Pertumbuhan Filem Nipis (Pemendapan Dielektrik), Penggilapan Mekanikal Kimia (CMP), Pengmetalan (Pengmetalan). Proses-proses tersebut sepadan satu persatu. Sasaran percikan digunakan dalam proses "metalasi". Sasaran dihujani dengan zarah bertenaga tinggi oleh peralatan pemendapan filem nipis dan kemudian lapisan logam dengan fungsi tertentu dibentuk pada wafer silikon, seperti lapisan konduktif, lapisan penghalang. Tunggu. Memandangkan proses keseluruhan semikonduktor adalah pelbagai, maka beberapa situasi sekali-sekala diperlukan untuk mengesahkan sistem itu wujud dengan betul, jadi kami menuntut beberapa jenis bahan tiruan pada peringkat pengeluaran tertentu untuk mengesahkan kesannya.
Masa siaran: 17 Jan-2022