குறைக்கடத்தி ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளில் பயன்படுத்தப்படும் தெளித்தல் இலக்குகள்

தெளித்தல் இலக்குகள்ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள், தகவல் சேமிப்பு, திரவ படிக காட்சிகள், லேசர் நினைவுகள், மின்னணு கட்டுப்பாட்டு சாதனங்கள் போன்ற மின்னணுவியல் மற்றும் தகவல் தொழில்களில் முக்கியமாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. அவை கண்ணாடி பூச்சுத் துறையிலும், உடைகள்-எதிர்ப்புப் பொருட்களிலும் பயன்படுத்தப்படலாம். உயர் வெப்பநிலை அரிப்பு எதிர்ப்பு, உயர்நிலை அலங்கார பொருட்கள் மற்றும் பிற தொழில்கள்.

மெல்லிய படலப் பொருட்களைத் தயாரிப்பதற்கான முக்கிய நுட்பங்களில் ஒன்று தெளித்தல் ஆகும்.இது அயனி மூலங்களால் உருவாக்கப்படும் அயனிகளைப் பயன்படுத்தி வெற்றிடத்தில் துரிதப்படுத்தவும் திரட்டவும் அதிவேக ஆற்றல் அயன் கற்றைகளை உருவாக்கவும், திட மேற்பரப்பைத் தாக்கவும், அயனிகள் மற்றும் திட மேற்பரப்பு அணுக்களுக்கு இடையில் இயக்க ஆற்றலைப் பரிமாறிக்கொள்ளவும் பயன்படுத்துகிறது. திட மேற்பரப்பில் உள்ள அணுக்கள் திடப்பொருளை விட்டு வெளியேறி அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் படிகின்றன. துளையிடப்பட்ட திடப்பொருள் என்பது மெல்லிய படலங்களை ஸ்பட்டரிங் மூலம் வைப்பதற்கான மூலப்பொருளாகும், இது ஸ்பட்டரிங் இலக்கு என்று அழைக்கப்படுகிறது. பல்வேறு வகையான தெளிக்கப்பட்ட மெல்லிய படலப் பொருட்கள் குறைக்கடத்தி ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள், பதிவு ஊடகங்கள், தட்டையான பேனல் காட்சிகள் மற்றும் பணிப்பகுதி மேற்பரப்பு பூச்சுகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

அனைத்து பயன்பாட்டுத் தொழில்களிலும், குறைக்கடத்தித் தொழில் இலக்கு தெளிப்பு படங்களுக்கு மிகவும் கடுமையான தரத் தேவைகளைக் கொண்டுள்ளது. உயர்-தூய்மை உலோக தெளிப்பு இலக்குகள் முக்கியமாக வேஃபர் உற்பத்தி மற்றும் மேம்பட்ட பேக்கேஜிங் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. சில்லு உற்பத்தியை உதாரணமாக எடுத்துக் கொண்டால், ஒரு சிலிக்கான் வேஃபரிலிருந்து ஒரு சிப் வரை, அது 7 முக்கிய உற்பத்தி செயல்முறைகள் வழியாக செல்ல வேண்டும் என்பதை நாம் காணலாம், அதாவது பரவல் (வெப்ப செயல்முறை), புகைப்பட-லித்தோகிராபி (புகைப்பட-லித்தோகிராபி), எட்ச் (எட்ச்), அயன் பொருத்துதல் (அயன்இம்பிளாண்ட்), மெல்லிய பட வளர்ச்சி (மின்கடத்தா படிவு), வேதியியல் இயந்திர பாலிஷிங் (CMP), உலோகமயமாக்கல் (உலோகமயமாக்கல்) செயல்முறைகள் ஒவ்வொன்றாக ஒத்திருக்கின்றன. தெளிப்பு இலக்கு "உலோகமயமாக்கல்" செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. மெல்லிய படல படிவு உபகரணங்கள் மூலம் இலக்கு உயர்-ஆற்றல் துகள்களால் தாக்கப்படுகிறது, பின்னர் சிலிக்கான் வேஃபரில் குறிப்பிட்ட செயல்பாடுகளைக் கொண்ட ஒரு உலோக அடுக்கு உருவாகிறது, கடத்தும் அடுக்கு போன்றவை, தடை அடுக்கு. காத்திருங்கள். முழு குறைக்கடத்திகளின் செயல்முறைகளும் மாறுபடுவதால், அமைப்பு சரியாக உள்ளதா என்பதைச் சரிபார்க்க சில அவ்வப்போது சூழ்நிலைகள் தேவைப்படுகின்றன, எனவே விளைவுகளை உறுதிப்படுத்த உற்பத்தியின் சில கட்டங்களில் சில வகையான போலிப் பொருட்களை நாங்கள் கோருகிறோம்.