Распыляльныя мішэніУ асноўным выкарыстоўваюцца ў электроннай і інфармацыйнай прамысловасці, такіх як інтэгральныя схемы, захоўванне інфармацыі, вадкакрышталічныя дысплеі, лазерная памяць, электронныя прылады кіравання і г.д. Яны таксама могуць выкарыстоўвацца ў галіне пакрыцця шкла, а таксама ў зносаўстойлівых матэрыялах, устойлівасці да карозіі пры высокіх тэмпературах, высакаякасных дэкаратыўных вырабах і іншых галінах прамысловасці.
Распыленне - адзін з асноўных метадаў атрымання тонкаплёнкавых матэрыялаў.У ім выкарыстоўваюцца іоны, якія генеруюцца крыніцамі іонаў, для паскарэння і агрэгацыі ў вакууме з утварэннем высакахуткасных энергетычных іённых пучкоў, бамбардзіроўкі цвёрдай паверхні і абмену кінетычнай энергіяй паміж іонамі і атамамі цвёрдай паверхні. Атамы на цвёрдай паверхні пакідаюць цвёрдае цела і асядаюць на паверхні падкладкі. Бамбардзіровачнае цвёрдае цела з'яўляецца сыравінай для нанясення тонкіх плёнак метадам распылення, якое называецца распыляльнай мішэнню. Розныя тыпы распыленых тонкаплёнкавых матэрыялаў шырока выкарыстоўваюцца ў паўправадніковых інтэгральных схемах, носьбітах інфармацыі, плоскіх дысплеях і пакрыццях паверхняў дэталяў.
Сярод усіх галін прамысловасці паўправадніковая прамысловасць мае найбольш строгія патрабаванні да якасці плёнак для распылення мішэняў. Высокачыстыя металічныя мішэні для распылення ў асноўным выкарыстоўваюцца ў вытворчасці пласцін і складаных працэсах упакоўкі. У якасці прыкладу вытворчасці мікрасхем можна ўбачыць, што ад крэмніевай пласціны да мікрасхемы патрабуецца 7 асноўных вытворчых працэсаў, а менавіта дыфузія (тэрмічны працэс), фоталітаграфія (фоталітаграфія), травленне (траўленне), іённая імплантацыя (іённая імплантацыя), рост тонкай плёнкі (дыэлектрычнае нанясенне), хіміка-механічная паліроўка (ХМП), металізацыя (металізацыя). Працэсы адпавядаюць адзін аднаму. Мішэнь для распылення выкарыстоўваецца ў працэсе «металізацыі». Мішэнь бамбардзіруецца высокаэнергетычнымі часціцамі з дапамогай абсталявання для нанясення тонкай плёнкі, а затым на крэмніевай пласціне фармуецца металічны пласт са спецыфічнымі функцыямі, напрыклад, праводны пласт, бар'ерны пласт. Пачакайце. Паколькі працэсы вытворчасці паўправаднікоў розныя, для праверкі правільнасці сістэмы патрэбныя некаторыя выпадковыя сітуацыі, таму на пэўных этапах вытворчасці нам патрэбныя некаторыя віды макетных матэрыялаў для пацверджання эфектаў.
Час публікацыі: 17 студзеня 2022 г.