PihustussihtmärgidNeid kasutatakse peamiselt elektroonika- ja infotööstuses, näiteks integraallülitustes, infosalvestuses, vedelkristallekraanides, lasermäludes, elektroonilistes juhtimisseadmetes jne. Neid saab kasutada ka klaaskatte valdkonnas, samuti kulumiskindlates materjalides, kõrge temperatuuriga korrosioonikindluses, tipptasemel dekoratiivtoodetes ja muudes tööstusharudes.
Pihustusmeetodil pritsimine on üks peamisi õhukeste kilematerjalide valmistamise tehnikaid.See kasutab ioonallikate tekitatud ioone, et kiirendada ja agregeerida vaakumis, moodustades kiire energiaga ioonkiiri, pommitada tahket pinda ning vahetada kineetilist energiat ioonide ja tahke pinna aatomite vahel. Tahke pinna aatomid lahkuvad tahkest ainest ja ladestuvad aluspinnale. Pommitatud tahke aine on tooraine õhukeste kilede sadestamiseks pihustamisega, mida nimetatakse pihustussihtmärgiks. Erinevat tüüpi pihustatud õhukeste kilede materjale on laialdaselt kasutatud pooljuhtide integraallülitustes, salvestusmeediumites, lameekraanidel ja tooriku pinnakatetes.
Kõigist rakendusvaldkondadest on pooljuhtide tööstuses kõige rangemad kvaliteedinõuded sihtmärkide pihustuskiledele. Kõrge puhtusastmega metallpihustussihtmärke kasutatakse peamiselt kiipide tootmisel ja täiustatud pakendamisprotsessides. Näiteks kiibi tootmisel näeme, et ränivahvlist kiibini läbib see 7 peamist tootmisprotsessi: difusioon (termiline protsess), fotolitograafia (fotolitograafia), söövitamine (söövitus), ioonide implanteerimine (ioonimplantatsioon), õhukese kile kasvatamine (dielektriline sadestamine), keemiline mehaaniline poleerimine (CMP) ja metalliseerimine (metalliseerimine). Protsessid vastavad üksteisele. Pihustussihtmärki kasutatakse "metalliseerimise" protsessis. Sihtmärki pommitatakse õhukese kile sadestamise seadmete abil suure energiaga osakestega ja seejärel moodustatakse ränivahvlile spetsiifiliste funktsioonidega metallikiht, näiteks juhtiv kiht, tõkkekiht. Oodake. Kuna kogu pooljuhtide protsessid on erinevad, on süsteemi korrektse olemasolu kontrollimiseks vaja aeg-ajalt olukordi, mistõttu nõuame teatud tüüpi mannekeenmaterjale tootmise teatud etappides efektide kinnitamiseks.
Postituse aeg: 17. jaanuar 2022