Шашырату нысаналарынегізінен электроника және ақпараттық салаларда, мысалы, интегралдық микросхемаларда, ақпаратты сақтауда, сұйық кристалды дисплейлерде, лазерлік жадтарда, электрондық басқару құрылғыларында және т.б. қолданылады. Оларды шыны жабындары саласында, сондай-ақ тозуға төзімді материалдарда, жоғары температураға төзімділікте, жоғары сапалы сәндік өнімдерде және басқа да салаларда қолдануға болады.
Шашырату - жұқа қабықшалы материалдарды дайындаудың негізгі әдістерінің бірі.Ол ион көздерінен пайда болған иондарды вакуумда үдеу және агрегациялау үшін пайдаланады, жоғары жылдамдықты энергиялы ион сәулелерін түзеді, қатты бетті бомбалайды және иондар мен қатты бет атомдары арасында кинетикалық энергия алмасады. Қатты беттегі атомдар қатты заттан шығып, субстрат бетіне түседі. Бомбалауға ұшыраған қатты зат - тозаңдату арқылы жұқа қабықшаларды тұндыру үшін шикізат, ол тозаңдату нысанасы деп аталады. Шашыратылған жұқа қабықша материалдарының әртүрлі түрлері жартылай өткізгіш интегралды микросхемаларда, жазу құралдарында, жалпақ панельді дисплейлерде және дайындама бетінің жабындарында кеңінен қолданылды.
Барлық қолданбалы салалардың ішінде жартылай өткізгіш өнеркәсібі нысана шашырату пленкаларына ең қатаң сапа талаптарына ие. Жоғары тазалықтағы металл шашырату нысаналары негізінен пластина өндірісінде және озық қаптама процестерінде қолданылады. Чип өндірісін мысал ретінде алсақ, кремний пластинасынан чипке дейін 7 негізгі өндіріс процесінен өтуі керек екенін көруге болады, атап айтқанда диффузия (термиялық процесс), фотолитография (фотолитография), ою (ойғыш), ион имплантациясы (ион имплантациясы), жұқа пленка өсуі (диэлектрлік тұндыру), химиялық механикалық жылтырату (ХМЖ), металлдандыру (металлизация). Процестер бірінен соң бірі сәйкес келеді. Шашырату нысанасы «металлизация» процесінде қолданылады. Нысанаға жұқа пленка тұндыру жабдықтары арқылы жоғары энергиялы бөлшектер бомбаланады, содан кейін кремний пластинасында өткізгіш қабат, тосқауыл қабаты сияқты арнайы функциялары бар металл қабаты пайда болады. Күте тұрыңыз. Барлық жартылай өткізгіштердің процестері әртүрлі болғандықтан, жүйенің дұрыс жұмыс істейтінін тексеру үшін кейде жағдайлар қажет болады, сондықтан біз өндірістің белгілі бір кезеңдерінде әсерлерді растау үшін кейбір макет материалдарын талап етеміз.
Жарияланған уақыты: 2022 жылғы 17 қаңтар