Шүршигч байголчлон электроник болон мэдээллийн салбарт, тухайлбал интеграл хэлхээ, мэдээлэл хадгалах, шингэн болор дэлгэц, лазер санах ой, электрон хяналтын төхөөрөмж гэх мэт салбарт ашиглагддаг. Эдгээрийг шилэн бүрхүүлийн салбарт, мөн элэгдэлд тэсвэртэй материал, өндөр температурт зэврэлтэнд тэсвэртэй, өндөр зэрэглэлийн гоёл чимэглэлийн бүтээгдэхүүн болон бусад салбарт ашиглаж болно.
Нимгэн хальсан материалыг бэлтгэх гол аргуудын нэг нь шүрших явдал юм.Энэ нь ионы эх үүсвэрээс үүссэн ионуудыг ашиглан вакуум орчинд хурдасгаж, нэгтгэж, өндөр хурдны энергийн ионы цацраг үүсгэх, хатуу гадаргууг бөмбөгдөх, ионууд болон хатуу гадаргуугийн атомуудын хооронд кинетик энерги солилцох боломжийг олгодог. Хатуу гадаргуу дээрх атомууд хатуу биетээс гарч, суурь гадаргуу дээр хуримтлагддаг. Бөмбөгдөлтөд өртсөн хатуу биет нь цацалтаар нимгэн хальс хуримтлуулах түүхий эд бөгөөд үүнийг цацалтын бай гэж нэрлэдэг. Төрөл бүрийн цацалттай нимгэн хальсан материалыг хагас дамжуулагч интеграл хэлхээ, бичлэгийн хэрэгсэл, хавтгай дэлгэц, ажлын гадаргуугийн бүрхүүлд өргөн ашигладаг.
Бүх хэрэглээний салбаруудын дунд хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл нь байны цацалтын хальсанд хамгийн хатуу чанарын шаардлага тавьдаг. Өндөр цэвэршилттэй металл цацалтын байг голчлон вафли үйлдвэрлэл болон дэвшилтэт сав баглаа боодлын процесст ашигладаг. Чип үйлдвэрлэлийг жишээ болгон авч үзвэл цахиурын вафлигаас чип хүртэл 7 үндсэн үйлдвэрлэлийн процессоор дамжин өнгөрөх шаардлагатай болдог бөгөөд үүнд диффузи (Дулааны процесс), фотолитографи (Фотолитографи), сийлбэр (Этч), ионы суулгац (Ион суулгац), нимгэн хальсны ургалт (Диэлектрик тунадасжуулалт), химийн механик өнгөлгөө (CMP), металлжуулалт (Металжуулалт) орно. Эдгээр процессууд нэг нэгээр нь тохирч байна. Цохилтын байг "металжуулалт" процесст ашигладаг. Байг нимгэн хальсны тунадасжуулалтын төхөөрөмжөөр өндөр энергийн тоосонцороор бөмбөгдөж, дараа нь цахиурын вафли дээр дамжуулагч давхарга, хаалт давхарга гэх мэт тодорхой функцтэй металл давхарга үүсдэг. Хүлээгээрэй. Хагас дамжуулагчийн бүх үйл явц харилцан адилгүй байдаг тул систем зөв оршин тогтнож байгааг баталгаажуулахын тулд зарим тохиолдолд шаардлагатай байдаг тул бид үйлдвэрлэлийн тодорхой үе шатанд үр нөлөөг баталгаажуулахын тулд зарим төрлийн хуурамч материалыг шаарддаг.
Нийтэлсэн цаг: 2022 оны 1-р сарын 17