Sputterende målbrukes hovedsakelig i elektronikk- og informasjonsindustrien, for eksempel integrerte kretser, informasjonslagring, flytende krystallskjermer, laserminner, elektroniske kontrollenheter, etc. De kan også brukes innen glassbelegg, samt i slitesterke materialer, korrosjonsbestandighet ved høy temperatur, eksklusive dekorative produkter og andre industrier.
Sputtering er en av hovedteknikkene for å fremstille tynnfilmmaterialer.Den bruker ioner generert av ionekilder for å akselerere og aggregere i vakuum for å danne høyhastighets energistråler i ion, bombardere den faste overflaten og utveksle kinetisk energi mellom ioner og atomer på den faste overflaten. Atomene på den faste overflaten forlater det faste stoffet og avsettes på overflaten av substratet. Det bombarderte faste stoffet er råmaterialet for avsetning av tynne filmer ved sputtering, som kalles sputteringsmål. Ulike typer sputterede tynnfilmmaterialer har blitt mye brukt i integrerte halvlederkretser, opptaksmedier, flatskjermer og overflatebelegg på arbeidsstykker.
Av alle applikasjonsindustrier har halvlederindustrien de strengeste kvalitetskravene for sputterfilmer for mål. Sputterfilmer av metall med høy renhet brukes hovedsakelig i waferproduksjon og avanserte pakkeprosesser. Hvis vi tar chipproduksjon som et eksempel, kan vi se at fra en silisiumwafer til en chip må den gå gjennom 7 hovedproduksjonsprosesser, nemlig diffusjon (termisk prosess), fotolitografi (fotolitografi), etsning (etsing), ionimplantasjon (ionimplantasjon), tynnfilmvekst (dielektrisk avsetning), kjemisk-mekanisk polering (CMP) og metallisering (metallisering). Prosessene samsvarer én etter én. Sputtermålet brukes i prosessen med "metallisering". Målet bombarderes med høyenergipartikler av tynnfilmavsetningsutstyr, og deretter dannes et metalllag med spesifikke funksjoner på silisiumwaferen, for eksempel et ledende lag og barrierelag. Vent. Siden prosessene for alle halvledere er varierte, er det behov for noen sporadiske situasjoner for å bekrefte at systemet fungerer riktig, så vi krever noen typer dummy-materialer på visse stadier av produksjonen for å bekrefte effektene.
Publisert: 17. januar 2022