أهداف متقطعةتُستخدم بشكل أساسي في صناعات الإلكترونيات والمعلومات، مثل الدوائر المتكاملة، وتخزين المعلومات، وشاشات الكريستال السائل، وذاكرة الليزر، وأجهزة التحكم الإلكترونية، وما إلى ذلك. كما يمكن استخدامها في مجال طلاء الزجاج، وكذلك في المواد المقاومة للتآكل، ومقاومة التآكل في درجات الحرارة العالية، والمنتجات الزخرفية الراقية وغيرها من الصناعات.
تعتبر عملية الرش إحدى التقنيات الرئيسية لإعداد مواد الأغشية الرقيقة.تستخدم هذه التقنية الأيونات المتولدة من مصادر أيونية لتسريع وتجمع المواد في الفراغ لتكوين حزم أيونية عالية الطاقة، تُقذف على السطح الصلب، وتُتبادل الطاقة الحركية بين الأيونات وذرات السطح الصلب. تغادر الذرات الموجودة على السطح الصلب وتترسب على سطح الركيزة. تُعدّ المادة الصلبة المُقذوفة المادة الخام لترسيب الأغشية الرقيقة عن طريق الرش، والذي يُسمى هدف الرش. استُخدمت أنواع مختلفة من مواد الأغشية الرقيقة المُرشحة على نطاق واسع في الدوائر المتكاملة لأشباه الموصلات، ووسائط التسجيل، وشاشات العرض المسطحة، وطلاءات أسطح قطع العمل.
من بين جميع الصناعات التطبيقية، فإن صناعة أشباه الموصلات لديها أكثر متطلبات الجودة صرامة لأغشية الرشح المستهدفة. تُستخدم أهداف الرشح المعدنية عالية النقاء بشكل أساسي في تصنيع الرقائق وعمليات التعبئة والتغليف المتقدمة. وبأخذ تصنيع الرقائق كمثال، يمكننا أن نرى أنه من رقاقة السيليكون إلى الرقاقة، يجب أن تمر عبر 7 عمليات إنتاج رئيسية، وهي الانتشار (العملية الحرارية)، والطباعة الضوئية (الطباعة الضوئية)، والحفر (الحفر)، وزرع الأيونات (زرع الأيونات)، ونمو الأغشية الرقيقة (الترسيب العازل)، والتلميع الكيميائي الميكانيكي (CMP)، والتعدين (التعدين). تتوافق العمليات واحدة تلو الأخرى. يُستخدم هدف الرشح في عملية "التعدين". يتم قصف الهدف بجسيمات عالية الطاقة بواسطة معدات ترسيب الأغشية الرقيقة ثم يتم تشكيل طبقة معدنية ذات وظائف محددة على رقاقة السيليكون، مثل الطبقة الموصلة والطبقة الحاجزة. انتظر. نظرًا لأن عمليات أشباه الموصلات بأكملها متنوعة، فمن الضروري وجود بعض المواقف العرضية للتحقق من وجود النظام بشكل صحيح، لذلك نطلب بعض أنواع المواد الوهمية في مراحل معينة من الإنتاج لتأكيد التأثيرات.
وقت النشر: ١٧ يناير ٢٠٢٢