স্পুটারিং টার্গেটপ্রধানত ইলেকট্রনিক্স এবং তথ্য শিল্পে ব্যবহৃত হয়, যেমন ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট, তথ্য সঞ্চয়, তরল স্ফটিক প্রদর্শন, লেজার স্মৃতি, ইলেকট্রনিক নিয়ন্ত্রণ ডিভাইস ইত্যাদি। এগুলি কাচের আবরণের ক্ষেত্রেও ব্যবহার করা যেতে পারে, সেইসাথে পরিধান-প্রতিরোধী উপকরণ, উচ্চ-তাপমাত্রা জারা প্রতিরোধ, উচ্চ-সম্পন্ন আলংকারিক পণ্য এবং অন্যান্য শিল্পেও।
পাতলা ফিল্ম উপকরণ প্রস্তুত করার জন্য স্পুটারিং হল অন্যতম প্রধান কৌশল।এটি আয়ন উৎস থেকে উৎপন্ন আয়নগুলিকে ত্বরান্বিত করে এবং শূন্যস্থানে একত্রিত করে উচ্চ-গতির শক্তি আয়ন রশ্মি তৈরি করে, কঠিন পৃষ্ঠের উপর বোমাবর্ষণ করে এবং আয়ন এবং কঠিন পৃষ্ঠের পরমাণুর মধ্যে গতিশক্তি বিনিময় করে। কঠিন পৃষ্ঠের পরমাণুগুলি কঠিন পদার্থ ছেড়ে যায় এবং সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে জমা হয়। বোমাবর্ষণ করা কঠিন পদার্থ হল স্পুটারিং দ্বারা পাতলা ফিল্ম জমা করার কাঁচামাল, যাকে স্পুটারিং টার্গেট বলা হয়। সেমিকন্ডাক্টর ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট, রেকর্ডিং মিডিয়া, ফ্ল্যাট-প্যানেল ডিসপ্লে এবং ওয়ার্কপিস পৃষ্ঠের আবরণে বিভিন্ন ধরণের স্পুটারড পাতলা ফিল্ম উপকরণ ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়েছে।
সকল অ্যাপ্লিকেশন শিল্পের মধ্যে, সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে টার্গেট স্পুটারিং ফিল্মের জন্য সবচেয়ে কঠোর মানের প্রয়োজনীয়তা রয়েছে। উচ্চ-বিশুদ্ধতা ধাতব স্পুটারিং টার্গেটগুলি মূলত ওয়েফার উৎপাদন এবং উন্নত প্যাকেজিং প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত হয়। চিপ উৎপাদনকে উদাহরণ হিসেবে নিলে, আমরা দেখতে পাচ্ছি যে একটি সিলিকন ওয়েফার থেকে একটি চিপ পর্যন্ত, এটিকে 7টি প্রধান উৎপাদন প্রক্রিয়ার মধ্য দিয়ে যেতে হয়, যথা: ডিফিউশন (তাপীয় প্রক্রিয়া), ফটো-লিথোগ্রাফি (ফটো-লিথোগ্রাফি), এচ (এচ), আয়ন ইমপ্লান্টেশন (আয়নইমপ্লান্ট), পাতলা ফিল্ম বৃদ্ধি (ডাইলেট্রিক ডিপোজিশন), রাসায়নিক যান্ত্রিক পলিশিং (সিএমপি), মেটালাইজেশন (ধাতুকরণ)। প্রক্রিয়াগুলি একে একে মিলে যায়। স্পুটারিং টার্গেটটি "ধাতুকরণ" প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত হয়। পাতলা ফিল্ম ডিপোজিশন সরঞ্জাম দ্বারা লক্ষ্যবস্তুটি উচ্চ-শক্তি কণা দিয়ে বোমাবর্ষণ করা হয় এবং তারপরে সিলিকন ওয়েফারে নির্দিষ্ট ফাংশন সহ একটি ধাতব স্তর তৈরি করা হয়, যেমন পরিবাহী স্তর, বাধা স্তর। অপেক্ষা করুন। যেহেতু সম্পূর্ণ সেমিকন্ডাক্টরের প্রক্রিয়াগুলি বিভিন্ন রকমের, তাই সিস্টেমটি সঠিকভাবে বিদ্যমান কিনা তা যাচাই করার জন্য মাঝে মাঝে কিছু পরিস্থিতির প্রয়োজন হয়, তাই আমরা উৎপাদনের নির্দিষ্ট পর্যায়ে প্রভাবগুলি নিশ্চিত করার জন্য কিছু ধরণের ডামি উপকরণের দাবি করি।
পোস্টের সময়: জানুয়ারী-১৭-২০২২