স্পাটারিং লক্ষ্যবস্তুএগুলি প্রধানত ইলেকট্রনিক্স এবং তথ্য শিল্পে ব্যবহৃত হয়, যেমন ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট, তথ্য সংরক্ষণ, লিকুইড ক্রিস্টাল ডিসপ্লে, লেজার মেমরি, ইলেকট্রনিক নিয়ন্ত্রণ ডিভাইস ইত্যাদি। এগুলি গ্লাস কোটিং-এর ক্ষেত্রে, সেইসাথে ক্ষয়-প্রতিরোধী উপকরণ, উচ্চ-তাপমাত্রার ক্ষয়-প্রতিরোধ, উচ্চমানের আলংকারিক পণ্য এবং অন্যান্য শিল্পেও ব্যবহার করা যেতে পারে।
পাতলা ফিল্ম উপাদান তৈরির প্রধান কৌশলগুলোর মধ্যে স্পাটারিং অন্যতম।এটি আয়ন উৎস থেকে উৎপন্ন আয়ন ব্যবহার করে, যা একটি ভ্যাকুয়ামে ত্বরান্বিত ও একত্রিত হয়ে উচ্চ-গতির শক্তি আয়ন রশ্মি তৈরি করে, কঠিন পৃষ্ঠে আঘাত করে এবং আয়ন ও কঠিন পৃষ্ঠের পরমাণুগুলোর মধ্যে গতিশক্তি বিনিময় করে। কঠিন পৃষ্ঠের পরমাণুগুলো কঠিন বস্তুটি ছেড়ে সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে জমা হয়। এই আঘাতপ্রাপ্ত কঠিন বস্তুটিই স্পাটারিং পদ্ধতিতে পাতলা ফিল্ম জমা করার কাঁচামাল, যাকে স্পাটারিং টার্গেট বলা হয়। বিভিন্ন ধরনের স্পাটার্ড পাতলা ফিল্ম উপাদান সেমিকন্ডাক্টর ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট, রেকর্ডিং মিডিয়া, ফ্ল্যাট-প্যানেল ডিসপ্লে এবং ওয়ার্কপিস পৃষ্ঠের আবরণে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়ে আসছে।
সমস্ত অ্যাপ্লিকেশন শিল্পের মধ্যে, সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে টার্গেট স্পাটারিং ফিল্মের জন্য সবচেয়ে কঠোর মানের প্রয়োজনীয়তা রয়েছে। উচ্চ-বিশুদ্ধ ধাতব স্পাটারিং টার্গেটগুলি প্রধানত ওয়েফার উৎপাদন এবং উন্নত প্যাকেজিং প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহৃত হয়। চিপ উৎপাদনকে উদাহরণ হিসেবে নিলে, আমরা দেখতে পাই যে একটি সিলিকন ওয়েফার থেকে একটি চিপ তৈরি হতে ৭টি প্রধান উৎপাদন প্রক্রিয়ার মধ্য দিয়ে যেতে হয়, যথা ডিফিউশন (তাপীয় প্রক্রিয়া), ফটো-লিথোগ্রাফি (ফটো-লিথোগ্রাফি), এচ (এচ), আয়ন ইমপ্লান্টেশন (আয়ন ইমপ্লান্ট), থিন ফিল্ম গ্রোথ (ডাইইলেকট্রিক ডিপোজিশন), কেমিক্যাল মেকানিক্যাল পলিশিং (সিএমপি), মেটালাইজেশন (মেটালাইজেশন) প্রক্রিয়াগুলি একের পর এক সম্পর্কিত। স্পাটারিং টার্গেটটি “মেটালাইজেশন” প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত হয়। থিন ফিল্ম ডিপোজিশন সরঞ্জাম দ্বারা টার্গেটটিকে উচ্চ-শক্তির কণা দিয়ে আঘাত করা হয় এবং তারপরে সিলিকন ওয়েফারের উপর নির্দিষ্ট কার্যকারিতা সম্পন্ন একটি ধাতব স্তর তৈরি হয়, যেমন পরিবাহী স্তর, প্রতিবন্ধক স্তর। দাঁড়ান। যেহেতু সমগ্র সেমিকন্ডাক্টরের প্রক্রিয়াগুলো বিভিন্ন ধরনের, তাই সিস্টেমটি সঠিকভাবে কাজ করছে কিনা তা যাচাই করার জন্য কিছু বিশেষ পরিস্থিতির প্রয়োজন হয়। এজন্য আমরা উৎপাদনের নির্দিষ্ট কিছু পর্যায়ে এর প্রভাব নিশ্চিত করতে কিছু ডামি উপাদানের চাহিদা রাখি।
পোস্ট করার সময়: ১৭-জানুয়ারি-২০২২