Các mục tiêu phún xạ được sử dụng trong mạch tích hợp bán dẫn.

Mục tiêu phun phủChúng chủ yếu được sử dụng trong ngành điện tử và công nghiệp thông tin, chẳng hạn như mạch tích hợp, lưu trữ thông tin, màn hình tinh thể lỏng, bộ nhớ laser, thiết bị điều khiển điện tử, v.v. Chúng cũng có thể được sử dụng trong lĩnh vực phủ kính, cũng như trong vật liệu chống mài mòn, chống ăn mòn ở nhiệt độ cao, sản phẩm trang trí cao cấp và các ngành công nghiệp khác.

Phun phủ là một trong những kỹ thuật chính để chế tạo vật liệu màng mỏng.Phương pháp này sử dụng các ion được tạo ra từ nguồn ion để gia tốc và tập hợp trong chân không tạo thành chùm ion năng lượng cao, bắn phá bề mặt chất rắn và trao đổi động năng giữa các ion và các nguyên tử trên bề mặt chất rắn. Các nguyên tử trên bề mặt chất rắn rời khỏi chất rắn và được lắng đọng trên bề mặt chất nền. Chất rắn bị bắn phá là nguyên liệu thô để lắng đọng màng mỏng bằng phương pháp phún xạ, được gọi là bia phún xạ. Nhiều loại vật liệu màng mỏng phún xạ đã được sử dụng rộng rãi trong mạch tích hợp bán dẫn, phương tiện ghi, màn hình phẳng và lớp phủ bề mặt phôi.

Trong tất cả các ngành công nghiệp ứng dụng, ngành công nghiệp bán dẫn có yêu cầu chất lượng khắt khe nhất đối với màng phủ mục tiêu. Các mục tiêu phủ kim loại có độ tinh khiết cao chủ yếu được sử dụng trong sản xuất wafer và các quy trình đóng gói tiên tiến. Lấy sản xuất chip làm ví dụ, ta thấy rằng từ wafer silicon đến chip cần trải qua 7 quy trình sản xuất chính, đó là khuếch tán (Xử lý nhiệt), Quang khắc (Quang khắc), Khắc (Khắc), Cấy ion (Cấy ion), Phát triển màng mỏng (Lắng đọng điện môi), Đánh bóng cơ học hóa học (CMP), và Mạ kim loại. Các quy trình này tương ứng với nhau theo thứ tự. Mục tiêu phủ được sử dụng trong quy trình “mạ kim loại”. Mục tiêu được bắn phá bằng các hạt năng lượng cao bởi thiết bị lắng đọng màng mỏng, sau đó một lớp kim loại với các chức năng cụ thể được hình thành trên wafer silicon, chẳng hạn như lớp dẫn điện, lớp chắn, v.v. Vì các quy trình của toàn bộ ngành bán dẫn rất đa dạng nên đôi khi cần phải xác minh hệ thống hoạt động chính xác, do đó chúng ta cần một số loại vật liệu giả ở một số giai đoạn sản xuất nhất định để xác nhận hiệu quả.