Tarče za razprševanje, ki se uporabljajo v polprevodniških integriranih vezjih

Tarče za razprševanjeUporabljajo se predvsem v elektronski in informacijski industriji, kot so integrirana vezja, shranjevanje informacij, zasloni s tekočimi kristali, laserski pomnilniki, elektronske krmilne naprave itd. Uporabljajo se lahko tudi na področju steklenih premazov, pa tudi v materialih, odpornih proti obrabi, odpornosti proti koroziji pri visokih temperaturah, vrhunskih dekorativnih izdelkih in drugih industrijah.

Razprševanje je ena glavnih tehnik za pripravo tankoplastnih materialov.Uporablja ione, ki jih ustvarjajo ionski viri, za pospeševanje in združevanje v vakuumu, da tvorijo visokohitrostne ionske žarke, bombardirajo trdno površino in izmenjujejo kinetično energijo med ioni in atomi na trdni površini. Atomi na trdni površini zapustijo trdno snov in se odložijo na površini substrata. Bombardirana trdna snov je surovina za nanašanje tankih filmov z razprševanjem, kar imenujemo razpršilna tarča. Različne vrste razpršenih tankoplastnih materialov se pogosto uporabljajo v polprevodniških integriranih vezjih, snemalnih medijih, ploskih zaslonih in premazih za površine obdelovancev.

Med vsemi uporabnimi industrijami ima polprevodniška industrija najstrožje zahteve glede kakovosti za tarčne naprševalne filme. Tarče za naprševanje iz visoko čistih kovin se uporabljajo predvsem v proizvodnji rezin in naprednih postopkih pakiranja. Če vzamemo za primer proizvodnjo čipov, lahko vidimo, da mora od silicijeve rezine do čipa iti skozi 7 glavnih proizvodnih procesov, in sicer difuzijo (termični postopek), fotolitografijo (fotolitografija), jedkanje (jedkanje), ionsko implantacijo (ionska implantacija), rast tankih filmov (dielektrično nanašanje), kemično-mehansko poliranje (CMP) in metalizacijo (metalizacija). Procesi si ustrezajo drug za drugim. Tarča za naprševanje se uporablja v procesu "metalizacije". Tarča se s pomočjo opreme za nanašanje tankih filmov bombardira z visokoenergijskimi delci, nato pa se na silicijevi rezini oblikuje kovinska plast s posebnimi funkcijami, kot sta prevodna plast in pregradna plast. Ker so procesi celotnih polprevodnikov različni, so občasne situacije potrebne za preverjanje pravilnega delovanja sistema, zato v določenih fazah proizvodnje zahtevamo nekaj vrst slepih materialov, da potrdimo učinke.