Ҳадафҳои пошиданасосан дар саноати электроника ва иттилоот, ба монанди схемаҳои интегралӣ, нигоҳдории иттилоот, дисплейҳои кристаллии моеъ, хотираҳои лазерӣ, дастгоҳҳои идоракунии электронӣ ва ғайра истифода мешаванд. Онҳоро инчунин дар соҳаи рӯйпӯшкунии шиша, инчунин дар маводҳои ба фарсудашавӣ тобовар, муқовимат ба зангзании ҳарорати баланд, маҳсулоти ороишии баландсифат ва дигар соҳаҳо истифода бурдан мумкин аст.
Пошидани маводи тунук яке аз усулҳои асосии тайёр кардани плёнкаҳои тунук аст.Он аз ионҳои тавлидшуда аз манбаъҳои ион барои суръат бахшидан ва муттаҳид шудан дар вакуум истифода мебарад, то шуоъҳои ионии энергияи баландсуръатро ташкил диҳад, сатҳи сахтро бомбаборон кунад ва энергияи кинетикӣ байни ионҳо ва атомҳои сатҳи сахтро мубодила кунад. Атомҳои сатҳи сахт ҷисми сахтро тарк мекунанд ва дар сатҳи субстрат ҷойгир мешаванд. Ҷисми сахти бомбабороншуда ашёи хом барои ҷойгир кардани плёнкаҳои тунук тавассути пошидан мебошад, ки ҳадафи пошидан номида мешавад. Намудҳои гуногуни маводҳои плёнкаи тунуки пошидашуда дар схемаҳои интегралии нимноқилӣ, васоити сабт, дисплейҳои ҳамвор ва пӯшишҳои сатҳи кор васеъ истифода шудаанд.
Дар байни ҳама соҳаҳои татбиқ, саноати нимноқилҳо талаботи қатъии сифатро барои плёнкаҳои пошидани ҳадафҳо дорад. Ҳадафҳои пошидани металли тозаи баланд асосан дар истеҳсоли пластинаҳо ва равандҳои пешрафтаи бастабандӣ истифода мешаванд. Агар истеҳсоли чипҳоро мисол гирем, мо мебинем, ки аз пластинаи силикон то чип, он бояд аз 7 раванди асосии истеҳсолӣ гузарад, яъне диффузия (Раванди гармӣ), фотолитография (Фотолитография), кандакорӣ (Эч), имплантатсияи ионҳо (ИонИмплантатсия), афзоиши плёнкаи тунук (Ҷойгиркунии диэлектрикӣ), сайқалдиҳии механикии кимиёвӣ (CMP), металлизатсия (Метализатсия). Равандҳо як ба як мувофиқат мекунанд. Ҳадафи пошидани дар раванди "метализатсия" истифода мешавад. Ҳадаф бо зарраҳои баландэнергия аз ҷониби таҷҳизоти ҷойгиркунии плёнкаи тунук бомбаборон карда мешавад ва сипас дар пластинаи силикон қабати металлӣ бо вазифаҳои мушаххас, ба монанди қабати ноқилӣ, қабати монеа, ташаккул меёбад. Интизор шавед. Азбаски равандҳои тамоми нимноқилҳо гуногунанд, барои тасдиқи дурустии система баъзе ҳолатҳои ногувор лозиманд, аз ин рӯ мо дар марҳилаҳои муайяни истеҳсолот барои тасдиқи таъсир баъзе намудҳои маводҳои сохтаро талаб мекунем.
Вақти нашр: 17 январи соли 2022