Püskürtme nyşanalaryesasan elektronika we maglumat senagatynda, mysal üçin integral mikroshemalar, maglumat saklaýyş, suwuk kristal displeýler, lazer ýatlary, elektron dolandyryş enjamlary we ş.m. ulanylýar. Olar şeýle hem aýna örtük pudagynda, şeýle hem aşynma çydamly materiallarda, ýokary temperatura korroziýa garşylygynda, ýokary derejeli bezeg önümlerinde we beýleki pudaklarda ulanylyp bilner.
Püskürtmek inçe plýonka materiallaryny taýýarlamagyň esasy usullarynyň biridir.Ol ion çeşmeleri tarapyndan döredilen ionlary wakuumda tizlenmek we agregasiýa etmek üçin ulanýar, ýokary tizlikli energiýaly ion şöhlelerini emele getirýär, gaty ýüzü bombalaýar we ionlar bilen gaty ýüzüň atomlarynyň arasynda kinetiki energiýany alyşýar. Gaty ýüzüň atomlary gatyny terk edýär we substratyň ýüzüne çökýär. Bombalanan gaty jisim püskürtmek arkaly inçe plýonkalary çökdürmek üçin çig mal bolup durýar, bu bolsa püskürtmek nyşanasy diýlip atlandyrylýar. Püskürtmek arkaly inçe plýonka materiallarynyň dürli görnüşleri ýarymgeçiriji integral mikroshemalarda, ýazgy serişdelerinde, tekiz panel displeýlerinde we iş bölekleriniň ýüzüni örtmekde giňden ulanylýar.
Ähli ulanylyş pudaklarynyň arasynda ýarymgeçiriji senagatynda nyşana püskürtmek plýonkalary üçin iň berk hil talaplary bar. Ýokary arassa metal püskürtmek nyşanalary esasan wafer önümçiliginde we ösen gaplama proseslerinde ulanylýar. Çip önümçiligini mysal hökmünde alsak, kremniý waferinden çipe çenli 7 esasy önümçilik prosesinden geçmelidigini görüp bileris, ýagny diffuziýa (Termal proses), fotolitografiýa (Fotolitografiýa), aşyndyrma (Oýundyrma), ion implantasiýa (Ion Implantasiýa), inçe plýonka ösüşi (Dielektrik çökündi), himiki mehaniki jylaňlama (CMP), metallaşdyrma (Metallaşdyrma). Prosesler bir-birine gabat gelýär. Püskürtmek nyşana "metallaşdyrma" prosesinde ulanylýar. Nyşana inçe plýonka çökündi enjamlary tarapyndan ýokary energiýaly bölejikler bilen bombardman edilýär we soňra kremniý waferinde geçiriji gatlak, päsgelçilik gatlagy ýaly belli bir funksiýalary bolan metal gatlagy emele gelýär. Garaşyň. Ähli ýarymgeçirijileriň prosesleri dürli-dürli bolany üçin, ulgamyň dogry bardygyny barlamak üçin käbir ýagdaýlar gerek bolýar, şonuň üçin önümçiligiň belli tapgyrlarynda täsirleri tassyklamak üçin käbir görnüşli maket materiallary talap edýäris.
Ýerleşdirilen wagty: 2022-nji ýylyň 17-nji ýanwary