Sputterjende doelenwurde benammen brûkt yn 'e elektroanika- en ynformaasje-yndustry, lykas yntegreare circuits, ynformaasjeopslach, floeibere kristaldisplays, laserûnthâlden, elektroanyske kontrôleapparaten, ensfh. Se kinne ek brûkt wurde op it mêd fan glêscoating, lykas yn wearbestindige materialen, korrosjebestriding by hege temperatuer, high-end dekorative produkten en oare yndustryen.
Sputterjen is ien fan 'e wichtichste techniken foar it tarieden fan tinne filmmaterialen.It brûkt ioanen dy't generearre wurde troch ioanboarnen om te fersnellen en te aggregearjen yn in fakuüm om hege-snelheid enerzjy-ioanstrielen te foarmjen, it fêste oerflak te bombardearjen, en kinetische enerzjy út te wikseljen tusken ioanen en fêste oerflakatomen. De atomen op it fêste oerflak ferlitte de fêste stof en wurde ôfset op it oerflak fan it substraat. De bombardearre fêste stof is de grûnstof foar it ôfsetten fan tinne films troch sputterjen, wat sputterdoel neamd wurdt. Ferskate soarten sputterde tinne filmmaterialen binne breed brûkt yn healgeleider-yntergreare circuits, opnamemedia, flatscreen-displays en wurkstik-oerflakcoatings.
Fan alle tapassingssektoren hat de healgeleideryndustry de strangste kwaliteitseasken foar doelwitsputterfilms. Heechsuvere metalen sputterdoelen wurde benammen brûkt yn waferproduksje en avansearre ferpakkingsprosessen. As wy chipproduksje as foarbyld nimme, kinne wy sjen dat fan in silisiumwafer oant in chip, it troch 7 wichtige produksjeprosessen moat gean, nammentlik diffúzje (termysk proses), fotolitografy (fotolitografy), etsen (etsen), ionymplantaasje (ionymplantaasje), tinne filmgroei (diëlektryske ôfsetting), gemysk-meganysk polijsten (CMP), metallisaasje (metallisaasje). De prosessen komme ien foar ien oerien. It sputterdoel wurdt brûkt yn it proses fan "metallisaasje". It doel wurdt bombardearre mei hege-enerzjypartikels troch tinne filmôfsettingsapparatuer en dan wurdt in metalen laach mei spesifike funksjes foarme op 'e silisiumwafer, lykas in geleidende laach, barriêrelaach. Wachtsje. Om't de prosessen fan 'e heule healgeleiders farieare binne, binne guon sa no en dan situaasjes nedich om te ferifiearjen dat it systeem korrekt bestiet, dus freegje wy om bepaalde soarten dummymaterialen yn bepaalde stadia fan produksje om de effekten te befêstigjen.
Pleatsingstiid: 17 jannewaris 2022