Чачыратуучу буталардынегизинен электроника жана маалымат тармактарында, мисалы, интегралдык микросхемаларда, маалыматты сактоодо, суюк кристалл дисплейлерде, лазердик эс тутумдарда, электрондук башкаруу түзүлүштөрүндө ж.б. колдонулат. Аларды айнек каптоо тармагында, ошондой эле эскирүүгө туруктуу материалдарда, жогорку температурадагы коррозияга туруктуулукта, жогорку класстагы декоративдик буюмдарда жана башка тармактарда колдонсо болот.
Чачыратуу - жука пленкалуу материалдарды даярдоонун негизги ыкмаларынын бири.Ал ион булактары тарабынан пайда болгон иондорду вакуумда ылдамдатуу жана агрегациялоо үчүн колдонот, бул жогорку ылдамдыктагы энергиялуу ион нурларын пайда кылат, катуу бетти бомбалайт жана иондор менен катуу беттин атомдорунун ортосунда кинетикалык энергия алмашууну камсыз кылат. Катуу беттеги атомдор катуу заттан чыгып, субстраттын бетине чөкмөлөнөт. Бомбаланган катуу зат чачыратуу жолу менен жука пленкаларды чөктүрүү үчүн чийки зат болуп саналат, ал чачыратуу бута деп аталат. Чачыратылган жука пленка материалдарынын ар кандай түрлөрү жарым өткөргүч интегралдык микросхемаларда, жаздыруучу каражаттарда, жалпак панелдүү дисплейлерде жана жумушчу бөлүктөрдүн бетин каптоодо кеңири колдонулган.
Бардык колдонмо тармактарынын ичинен жарым өткөргүч өнөр жайы бута чачыратуучу пленкаларга эң катуу сапат талаптарына ээ. Жогорку тазалыктагы металл чачыратуучу буталар негизинен пластиналарды өндүрүүдө жана өнүккөн таңгактоо процесстеринде колдонулат. Чиптерди өндүрүүнү мисал катары алсак, кремний пластинасынан чипке чейин ал 7 негизги өндүрүш процессинен өтүшү керек экенин көрө алабыз, атап айтканда диффузия (жылуулук процесси), фотолитография (фотолитография), оюу (оймо), ион имплантациясы (ион имплантациясы), жука пленканы өстүрүү (диэлектрдик чөкмө), химиялык механикалык жылтыратуу (CMP), металлдаштыруу (металлдаштыруу). Процесстер бир-бирден дал келет. Чачыратуучу буталар "металлдаштыруу" процессинде колдонулат. Бутага жука пленка чөктүрүүчү жабдуулар менен жогорку энергиялуу бөлүкчөлөр бомбаланат, андан кийин кремний пластинасында өткөргүч катмар, тосмо катмары сыяктуу белгилүү бир функциялары бар металл катмары пайда болот. Күтө туруңуз. Бүтүндөй жарым өткөргүчтөрдүн процесстери ар кандай болгондуктан, системанын туура бар экендигин текшерүү үчүн кээ бир учурларда кээде талап кылынат, андыктан биз өндүрүштүн белгилүү бир этаптарында таасирин ырастоо үчүн кандайдыр бир макет материалдарды талап кылабыз.
Жарыяланган убактысы: 2022-жылдын 17-январы