Targedau chwistrelluyn cael eu defnyddio'n bennaf yn y diwydiannau electroneg a gwybodaeth, megis cylchedau integredig, storio gwybodaeth, arddangosfeydd crisial hylif, cofion laser, dyfeisiau rheoli electronig, ac ati. Gellir eu defnyddio hefyd ym maes cotio gwydr, yn ogystal ag mewn deunyddiau sy'n gwrthsefyll traul, ymwrthedd i gyrydiad tymheredd uchel, cynhyrchion addurniadol pen uchel a diwydiannau eraill.
Mae chwistrellu yn un o'r prif dechnegau ar gyfer paratoi deunyddiau ffilm denau.Mae'n defnyddio ïonau a gynhyrchir gan ffynonellau ïonau i gyflymu ac agregu mewn gwactod i ffurfio trawstiau ïonau ynni cyflym, bomio'r wyneb solet, a chyfnewid ynni cinetig rhwng ïonau ac atomau arwyneb solet. Mae'r atomau ar yr wyneb solet yn gadael y solid ac yn cael eu dyddodi ar wyneb y swbstrad. Y solid wedi'i fomio yw'r deunydd crai ar gyfer dyddodi ffilmiau tenau trwy ysbeiddio, a elwir yn darged ysbeiddio. Defnyddiwyd gwahanol fathau o ddeunyddiau ffilm denau wedi'u ysbeiddio'n helaeth mewn cylchedau integredig lled-ddargludyddion, cyfryngau recordio, arddangosfeydd panel fflat a gorchuddion wyneb darnau gwaith.
Ymhlith yr holl ddiwydiannau cymwysiadau, y diwydiant lled-ddargludyddion sydd â'r gofynion ansawdd mwyaf llym ar gyfer ffilmiau chwistrellu targed. Defnyddir targedau chwistrellu metel purdeb uchel yn bennaf mewn gweithgynhyrchu wafers a phrosesau pecynnu uwch. Gan gymryd gweithgynhyrchu sglodion fel enghraifft, gallwn weld, o wafer silicon i sglodion, fod angen iddo fynd trwy 7 proses gynhyrchu fawr, sef trylediad (Proses Thermol), Ffotolithograffeg (Photo-lithography), Ysgythru (Etch), Mewnblannu Ionau (IonImplant), Twf Ffilm Denau (Dyddodiad Dielectrig), Sgleinio Mecanyddol Cemegol (CMP), Metelu (Metalization). Mae'r prosesau'n cyfateb un wrth un. Defnyddir y targed chwistrellu yn y broses o "feteleiddio". Caiff y targed ei fomio â gronynnau egni uchel gan offer dyddodiad ffilm denau ac yna ffurfir haen fetel â swyddogaethau penodol ar y wafer silicon, fel haen ddargludol, haen rhwystr. Arhoswch. Gan fod prosesau'r lled-ddargludyddion cyfan yn amrywiol, yna mae angen rhai sefyllfaoedd achlysurol i wirio bod y system yn bodoli'n gywir, felly rydym yn mynnu rhai mathau o ddeunyddiau ffug mewn rhai camau cynhyrchu i gadarnhau'r effeithiau.
Amser postio: Ion-17-2022