ଲକ୍ଷ୍ୟକୁ ସ୍ପଟର କରିବାମୁଖ୍ୟତଃ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ ଏବଂ ସୂଚନା ଶିଳ୍ପରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଯେପରିକି ସମନ୍ୱିତ ସର୍କିଟ୍, ସୂଚନା ସଂରକ୍ଷଣ, ତରଳ ସ୍ଫଟିକ ପ୍ରଦର୍ଶନ, ଲେଜର ସ୍ମୃତି, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଉପକରଣ, ଇତ୍ୟାଦି। ଏଗୁଡ଼ିକୁ କାଚ ଆବରଣ କ୍ଷେତ୍ରରେ, ଏବଂ ପିନ୍ଧା-ପ୍ରତିରୋଧୀ ସାମଗ୍ରୀ, ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ, ଉଚ୍ଚ-ପ୍ରାଚୀନ ସାଜସଜ୍ଜା ଉତ୍ପାଦ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଶିଳ୍ପରେ ମଧ୍ୟ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ।
ପତଳା ଫିଲ୍ମ ସାମଗ୍ରୀ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିବା ପାଇଁ ସ୍ପଟରିଂ ହେଉଛି ମୁଖ୍ୟ କୌଶଳ ମଧ୍ୟରୁ ଗୋଟିଏ।ଏହା ଆୟନ ଉତ୍ସଗୁଡ଼ିକ ଦ୍ୱାରା ସୃଷ୍ଟି ହୋଇଥିବା ଆୟନଗୁଡ଼ିକୁ ତ୍ୱରାନ୍ୱିତ ଏବଂ ଏକତ୍ରିତ କରି ଏକ ଶୂନ୍ୟ ସ୍ଥାନରେ ଉଚ୍ଚ-ଗତି ଶକ୍ତି ଆୟନ ବିମ୍ ଗଠନ କରେ, କଠିନ ପୃଷ୍ଠ ଉପରେ ବୋମା ମାଡ଼ କରେ ଏବଂ ଆୟନ ଏବଂ କଠିନ ପୃଷ୍ଠ ପରମାଣୁ ମଧ୍ୟରେ ଗତିଜ ଶକ୍ତି ବିନିମୟ କରେ। କଠିନ ପୃଷ୍ଠରେ ଥିବା ପରମାଣୁଗୁଡ଼ିକ କଠିନକୁ ଛାଡି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଜମା ହୁଏ। ବୋମାର୍ଡ କଠିନ ହେଉଛି ସ୍ପଟରିଂ ଦ୍ୱାରା ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଜମା କରିବା ପାଇଁ କଞ୍ଚାମାଲ, ଯାହାକୁ ସ୍ପଟରିଂ ଟାର୍ଗେଟ କୁହାଯାଏ। ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ସମନ୍ୱିତ ସର୍କିଟ୍, ରେକର୍ଡିଂ ମିଡିଆ, ଫ୍ଲାଟ-ପ୍ୟାନେଲ୍ ପ୍ରଦର୍ଶନ ଏବଂ ୱର୍କପିସ୍ ପୃଷ୍ଠ ଆବରଣରେ ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର ସ୍ପଟରଡ୍ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ସାମଗ୍ରୀ ବ୍ୟାପକ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୋଇଛି।
ସମସ୍ତ ପ୍ରୟୋଗ ଶିଳ୍ପ ମଧ୍ୟରେ, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଶିଳ୍ପର ଟାର୍ଗେଟ ସ୍ପଟରିଂ ଫିଲ୍ମ ପାଇଁ ସବୁଠାରୁ କଠୋର ଗୁଣବତ୍ତା ଆବଶ୍ୟକତା ରହିଛି। ଉଚ୍ଚ-ପବିତ୍ରତା ଧାତୁ ସ୍ପଟରିଂ ଟାର୍ଗେଟଗୁଡ଼ିକ ମୁଖ୍ୟତଃ ୱେଫର ଉତ୍ପାଦନ ଏବଂ ଉନ୍ନତ ପ୍ୟାକେଜିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। ଚିପ୍ ଉତ୍ପାଦନକୁ ଉଦାହରଣ ଭାବରେ ନେବାରୁ, ଆମେ ଦେଖିପାରୁଛୁ ଯେ ଏକ ସିଲିକନ୍ ୱେଫରରୁ ଏକ ଚିପ୍ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ, ଏହାକୁ 7ଟି ପ୍ରମୁଖ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଦେଇ ଯିବାକୁ ପଡିବ, ଯଥା ପ୍ରସାରଣ (ତାପଜ ପ୍ରକ୍ରିୟା), ଫଟୋ-ଲିଥୋଗ୍ରାଫି (ଫୋଟୋ-ଲିଥୋଗ୍ରାଫି), ଏଚ୍ (ଏଚ୍), ଆୟନ ଇମ୍ପ୍ଲାଣ୍ଟେସନ୍ (ଆୟନଇମ୍ପ୍ଲାଣ୍ଟ), ପତଳା ଫିଲ୍ମ ବୃଦ୍ଧି (ଡାଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଡିପୋଜିସନ୍), ରାସାୟନିକ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପଲିସିଂ (CMP), ଧାତୁକରଣ (ଧାତୁକରଣ) ପ୍ରକ୍ରିୟାଗୁଡ଼ିକ ଗୋଟିଏ ପରେ ଗୋଟିଏ ଅନୁରୂପ। "ଧାତୁକରଣ" ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ସ୍ପଟରିଂ ଟାର୍ଗେଟ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଡିପୋଜିସନ୍ ଉପକରଣ ଦ୍ୱାରା ଟାର୍ଗେଟକୁ ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି କଣିକା ସହିତ ବୋମା ମାଡ଼ କରାଯାଏ ଏବଂ ତା’ପରେ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର ଉପରେ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ କାର୍ଯ୍ୟ ସହିତ ଏକ ଧାତୁ ସ୍ତର ଗଠିତ ହୁଏ, ଯେପରିକି ପରିବାହୀ ସ୍ତର, ବାଧା ସ୍ତର। ଅପେକ୍ଷା କରନ୍ତୁ। ଯେହେତୁ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଯନ୍ତ୍ରଗୁଡ଼ିକର ପ୍ରକ୍ରିୟା ଭିନ୍ନ, ତେଣୁ ସିଷ୍ଟମଟି ସଠିକ୍ ଭାବରେ ଅଛି କି ନାହିଁ ତାହା ଯାଞ୍ଚ କରିବା ପାଇଁ କିଛି ସମୟ ମଧ୍ୟରେ ପରିସ୍ଥିତି ଆବଶ୍ୟକ ହୁଏ, ତେଣୁ ଆମେ ପ୍ରଭାବଗୁଡ଼ିକୁ ନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ଉତ୍ପାଦନର କିଛି ପର୍ଯ୍ୟାୟରେ କିଛି ପ୍ରକାରର ଡମି ସାମଗ୍ରୀ ଦାବି କରୁ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଜାନୁଆରୀ-୧୭-୨୦୨୨