ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ပေါင်းစပ်ဆားကစ်များတွင် အသုံးပြုသည့် Sputtering ပစ်မှတ်များ

ပစ်မှတ်များကို ဖြုန်းတီးခြင်း။ပေါင်းစပ်ဆားကစ်များ၊ အချက်အလက်သိုလှောင်မှု၊ အရည်ပုံဆောင်ခဲပြသမှုများ၊ လေဆာမှတ်ဉာဏ်များ၊ အီလက်ထရွန်းနစ်ထိန်းချုပ်ကိရိယာများ စသည်တို့ကဲ့သို့သော လျှပ်စစ်ပစ္စည်းနှင့် သတင်းအချက်အလက်လုပ်ငန်းများတွင် အဓိကအားဖြင့် အသုံးပြုကြသည်။ ၎င်းတို့ကို ဖန်အပေါ်ယံပိုင်းအပြင် ဝတ်ဆင်ခံနိုင်သောပစ္စည်းများ၊ အပူချိန်မြင့်သောချေးခံနိုင်ရည်၊ အဆင့်မြင့်အလှဆင်ပစ္စည်းများနှင့် အခြားစက်မှုလုပ်ငန်းများတွင်လည်း အသုံးပြုနိုင်သည်။

Sputtering သည် ပါးလွှာသော ဖလင်ပစ္စည်းများကို ပြင်ဆင်ရာတွင် အဓိက နည်းစနစ်တစ်ခုဖြစ်သည်။၎င်းသည် မြန်နှုန်းမြင့်စွမ်းအင်အိုင်းယွန်းရောင်ခြည်များဖွဲ့စည်းရန်၊ အစိုင်အခဲမျက်နှာပြင်ကို ဗုံးကြဲရန်နှင့် အိုင်းယွန်းများနှင့် အစိုင်အခဲမျက်နှာပြင်အက်တမ်များအကြား အရွေ့စွမ်းအင်ဖလှယ်ရန်အတွက် လေဟာနယ်တစ်ခုတွင် အရှိန်မြှင့်ကာ စုစည်းရန် အိုင်းရင်းရင်းမှထုတ်ပေးသော အိုင်းယွန်းများကို အသုံးပြုသည်။ အစိုင်အခဲမျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ အက်တမ်များသည် အစိုင်အခဲများကို စွန့်ထုတ်ပြီး အလွှာ၏မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် မြှုပ်နှံထားသည်။ ဗုံးကြဲသည့်အစိုင်အခဲသည် ပါးလွှာသောရုပ်ရှင်များကို sputtering ပစ်မှတ်ဟုခေါ်သော sputtering ပစ်မှတ်ဖြင့် သေးငယ်သောရုပ်ရှင်များကို အပ်နှံရန်အတွက် ကုန်ကြမ်းဖြစ်သည်။ အမျိုးမျိုးသော sputtered ပါးလွှာသော ဖလင်ပစ္စည်းများကို ဆီမီးကွန်ဒတ်တာပေါင်းစည်းထားသော ဆားကစ်များ၊ အသံဖမ်းမီဒီယာ၊ ပြားပြားခင်းကျင်းပြသမှုများနှင့် workpiece မျက်နှာပြင်အပေါ်ယံလွှာများတွင် တွင်ကျယ်စွာ အသုံးပြုခဲ့ကြသည်။

အပလီကေးရှင်းစက်မှုလုပ်ငန်းအားလုံးတွင်၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းသည် ပစ်မှတ် sputtering ရုပ်ရှင်များအတွက် အပြင်းထန်ဆုံး အရည်အသွေးသတ်မှတ်ချက်များရှိသည်။ သန့်စင်မြင့်သတ္တုစပတာခြင်းပစ်မှတ်များကို wafer ထုတ်လုပ်မှုနှင့် အဆင့်မြင့်ထုပ်ပိုးမှုလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အဓိကအားဖြင့်အသုံးပြုပါသည်။ Chip ထုတ်လုပ်မှုကို ဥပမာအနေနဲ့ယူပြီး၊ ဆီလီကွန် wafer တစ်ခုကနေ ချစ်ပ်တစ်ခုအထိ၊ ပျံ့နှံ့မှု (အပူဓာတ်)၊ Photo-lithography (Photo-lithography)၊ Etch (Etch)၊ Ion Implantation (IonImplant)၊ Thin Film Growth (Dielectric Deposition)၊ Chemical Thermalization (Mechanical Metalization)၊ တစ်ခုပြီးတစ်ခု ဆက်စပ်ပါ။ sputtering ပစ်မှတ်ကို "metallization" လုပ်ငန်းစဉ်တွင်အသုံးပြုသည်။ ပစ်မှတ်အား ပါးလွှာသော ဖလင် အစစ်ခံကိရိယာများဖြင့် စွမ်းအင်မြင့်မားသော အမှုန်အမွှားများဖြင့် တရစပ်ပြုလုပ်ပြီး လျှပ်ကူးအလွှာ၊ အတားအဆီးအလွှာ ကဲ့သို့သော ဆီလီကွန်ဝေဖာပေါ်တွင် သီးခြားလုပ်ဆောင်မှုများရှိသော သတ္တုအလွှာကို ဖွဲ့စည်းသည်။ စောင့်ဆိုင်းပါ။ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာတစ်ခုလုံး၏ လုပ်ငန်းစဉ်များသည် မတူညီသောကြောင့်၊ စနစ်မှန်ကန်ကြောင်း အတည်ပြုရန်အတွက် ရံဖန်ရံခါ အခြေအနေများ လိုအပ်သောကြောင့် အကျိုးသက်ရောက်မှုများကို အတည်ပြုရန်အတွက် အချို့သော ထုတ်လုပ်ရေးအဆင့်များတွင် dummy ပစ္စည်းများကို တောင်းဆိုပါသည်။