שפּריצן צילןווערן דער עיקר גענוצט אין די עלעקטראָניק און אינפֿאָרמאַציע אינדוסטריעס, אַזאַ ווי אינטעגרירטע קרייזן, אינפֿאָרמאַציע סטאָרידזש, פליסיק קריסטאַל דיספּלייז, לאַזער זכרונות, עלעקטראָנישע קאָנטראָל דעוויסעס, אאז"ו ו. זיי קענען אויך ווערן גענוצט אין די פעלד פון גלאז קאָוטינג, ווי אויך אין טראָגן-קעגנשטעליק מאַטעריאַלס, הויך-טעמפּעראַטור קעראָוזשאַן קעגנשטעל, הויך-סוף דעקאָראַטיווע פּראָדוקטן און אנדערע ינדאַסטריז.
ספּאַטערינג איז איינע פון די הויפּט טעכניקן פֿאַר צוגרייטן דין-פילם מאַטעריאַלן.עס ניצט יאָנען וואָס ווערן גענערירט דורך יאָן קוועלער צו פאַרגיכערן און אַגרעגירן אין אַ וואַקוום צו שאַפֿן הויך-גיכקייט ענערגיע יאָן שטראַלן, באַמבאַרדירן די האַרטע ייבערפלאַך, און וועקסלען קינעטישע ענערגיע צווישן יאָנען און האַרטע ייבערפלאַך אַטאָמען. די אַטאָמען אויף דער האַרטער ייבערפלאַך לאָזן די האַרטע שטאָף און ווערן אָפּגעלייגט אויף דער ייבערפלאַך פון דעם סאַבסטראַט. דער באַמבאַרדירטער האַרטער שטאָף איז דער רוי מאַטעריאַל פֿאַר אָפּלייגן דין פילמען דורך ספּאַטערינג, וואָס ווערט גערופן ספּאַטערינג ציל. פֿאַרשידענע טייפּס פון ספּאַטערד דין פילם מאַטעריאַלן זענען וויידלי געניצט אין האַלב-קאָנדוקטאָר ינטאַגרייטאַד סערקאַץ, רעקאָרדינג מעדיע, פלאַך-פּאַנעל דיספּלייז און ווערקפּיס ייבערפלאַך קאָוטינגז.
צווישן אלע אנווענדונג אינדוסטריעס, האט די האלב-קאנדוקטאר אינדוסטריע די שטרענגסטע קוואליטעט רעקווייערמענטס פאר ציל שפאטערינג פילמען. הויך-ריינקייט מעטאל שפאטערינג צילן ווערן בעיקר גענוצט אין וועיפער פאבריקאציע און פארגעשריטענע פאקעדזשינג פראצעסן. נעמענדיג טשיפּ פאבריקאציע אלס א ביישפיל, קענען מיר זען אז פון א סיליקאן וועיפער ביז א טשיפּ, דארף עס דורכגיין 7 הויפט פראדוקציע פראצעסן, נעמליך דיפוזיע (טערמיש פראצעס), פאטא-ליטאגראפיע (Photo-lithography), עטש (Etch), יאן אימפלאנטאציע (IonImplant), דין פילם וואוקס (דיעלעקטרישע דעפאזיציע), כעמישער מעכאנישער פאלישינג (CMP), מעטאליזאציע (Metalization). די פראצעסן שטימען איין איינס נאכן אנדערן. די שפאטערינג ציל ווערט גענוצט אין דעם פראצעס פון "מעטאליזאציע". די ציל ווערט באמבארדירט מיט הויך-ענערגיע פארטיקלען דורך דין פילם דעפאזיציע עקוויפמענט און דערנאך ווערט א מעטאל שיכט מיט ספעציפישע פונקציעס געשאפן אויף די סיליקאן וועיפער, ווי למשל קאנדוקטיווע שיכט, באריער שיכט. ווארט. ווייל די פראצעסן פון די גאנצע האלב-קאנדוקטארן זענען פארשידענארטיג, דאן זענען געוויסע געלעגנטליכע סיטואציעס נויטיג צו וועריפיצירן אז די סיסטעם עקזיסטירט ריכטיג, ממילא פארלאנגען מיר געוויסע סארטן דאמי מאטעריאלן אין געוויסע שטאפלען פון פראדוקציע צו באשטעטיגן די עפעקטן.
פּאָסט צייט: 17טן יאַנואַר 2022