स्पटरिंग लक्ष्येयांचा वापर प्रामुख्याने इलेक्ट्रॉनिक्स आणि माहिती उद्योगांमध्ये केला जातो, जसे की इंटिग्रेटेड सर्किट्स, माहिती साठवणूक, लिक्विड क्रिस्टल डिस्प्ले, लेझर मेमरी, इलेक्ट्रॉनिक नियंत्रण उपकरणे इत्यादी. त्यांचा वापर ग्लास कोटिंगच्या क्षेत्रात, तसेच झीज-प्रतिरोधक साहित्य, उच्च-तापमान गंज-प्रतिरोधकता, उच्च-श्रेणीची सजावटीची उत्पादने आणि इतर उद्योगांमध्ये देखील केला जाऊ शकतो.
स्पटरिंग हे पातळ फिल्म सामग्री तयार करण्याच्या मुख्य तंत्रांपैकी एक आहे.यात, आयन स्रोतांद्वारे निर्माण केलेल्या आयनांना निर्वात पोकळीत प्रवेगित करून एकत्र आणले जाते, ज्यामुळे उच्च-गतीचे ऊर्जा आयन शलाका तयार होतात. या शलाका घन पृष्ठभागावर आदळतात आणि आयन व घन पृष्ठभागावरील अणू यांच्यात गतिज ऊर्जेची देवाणघेवाण होते. घन पृष्ठभागावरील अणू घन पदार्थ सोडून सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर जमा होतात. ज्या घन पदार्थावर आघात केला जातो, तो स्पटरिंगद्वारे पातळ थर जमा करण्यासाठी कच्चा माल असतो, ज्याला स्पटरिंग टार्गेट म्हणतात. विविध प्रकारच्या स्पटर केलेल्या पातळ थरांच्या सामग्रीचा वापर सेमीकंडक्टर इंटिग्रेटेड सर्किट्स, रेकॉर्डिंग मीडिया, फ्लॅट-पॅनल डिस्प्ले आणि वर्कपीसच्या पृष्ठभागावरील लेपनामध्ये मोठ्या प्रमाणावर केला जातो.
सर्व उपयोजन उद्योगांमध्ये, सेमीकंडक्टर उद्योगात टार्गेट स्पटरिंग फिल्म्ससाठी सर्वात कठोर गुणवत्तेच्या आवश्यकता असतात. उच्च-शुद्धतेचे मेटल स्पटरिंग टार्गेट्स प्रामुख्याने वेफर उत्पादन आणि प्रगत पॅकेजिंग प्रक्रियांमध्ये वापरले जातात. चिप उत्पादनाचे उदाहरण घेतल्यास, आपण पाहू शकतो की सिलिकॉन वेफरपासून चिपपर्यंत, त्याला ७ प्रमुख उत्पादन प्रक्रियांमधून जावे लागते, म्हणजेच डिफ्यूजन (औष्णिक प्रक्रिया), फोटो-लिथोग्राफी (फोटो-लिथोग्राफी), एच (एच), आयन इम्प्लांटेशन (आयन इम्प्लांट), थिन फिल्म ग्रोथ (डायलेक्ट्रिक डिपॉझिशन), केमिकल मेकॅनिकल पॉलिशिंग (सीएमपी), मेटलायझेशन (मेटलायझेशन). या प्रक्रिया एकामागोमाग एक येतात. "मेटलायझेशन"च्या प्रक्रियेत स्पटरिंग टार्गेटचा वापर केला जातो. थिन फिल्म डिपॉझिशन उपकरणाद्वारे टार्गेटवर उच्च-ऊर्जा कणांचा मारा केला जातो आणि त्यानंतर सिलिकॉन वेफरवर विशिष्ट कार्ये असलेला धातूचा थर तयार केला जातो, जसे की प्रवाहकीय थर, अडथळा थर. थांबा. संपूर्ण सेमीकंडक्टरच्या प्रक्रिया विविध असल्यामुळे, प्रणाली योग्यरित्या कार्यरत आहे की नाही हे तपासण्यासाठी काही प्रसंगी परिस्थिती आवश्यक असते, म्हणून परिणामांची पुष्टी करण्यासाठी आम्हाला उत्पादनाच्या विशिष्ट टप्प्यांवर काही प्रकारच्या डमी सामग्रीची आवश्यकता असते.
पोस्ट करण्याची वेळ: १७ जानेवारी २०२२