स्पटरिंग लक्ष्येते प्रामुख्याने इलेक्ट्रॉनिक्स आणि माहिती उद्योगांमध्ये वापरले जातात, जसे की इंटिग्रेटेड सर्किट्स, इन्फॉर्मेशन स्टोरेज, लिक्विड क्रिस्टल डिस्प्ले, लेसर मेमरीज, इलेक्ट्रॉनिक कंट्रोल डिव्हाइसेस इ. ते काचेच्या कोटिंगच्या क्षेत्रात तसेच पोशाख-प्रतिरोधक सामग्री, उच्च-तापमान गंज प्रतिरोधकता, उच्च-स्तरीय सजावटीच्या उत्पादनांमध्ये आणि इतर उद्योगांमध्ये देखील वापरले जाऊ शकतात.
पातळ फिल्म मटेरियल तयार करण्यासाठी स्पटरिंग ही एक मुख्य तंत्र आहे.ते आयन स्त्रोतांद्वारे निर्माण होणाऱ्या आयनांचा वापर करून व्हॅक्यूममध्ये गती वाढवते आणि एकत्रित होते जेणेकरून हाय-स्पीड एनर्जी आयन बीम तयार होतात, घन पृष्ठभागावर बॉम्बफेक होते आणि आयन आणि घन पृष्ठभागाच्या अणूंमध्ये गतिज ऊर्जेची देवाणघेवाण होते. घन पृष्ठभागावरील अणू घन सोडतात आणि सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर जमा होतात. बॉम्बफेक केलेला सॉलिड हा स्पटरिंगद्वारे पातळ फिल्म जमा करण्यासाठी कच्चा माल आहे, ज्याला स्पटरिंग टार्गेट म्हणतात. सेमीकंडक्टर इंटिग्रेटेड सर्किट्स, रेकॉर्डिंग मीडिया, फ्लॅट-पॅनल डिस्प्ले आणि वर्कपीस पृष्ठभाग कोटिंग्जमध्ये विविध प्रकारचे स्पटर केलेले पातळ फिल्म मटेरियल मोठ्या प्रमाणावर वापरले गेले आहेत.
सर्व अनुप्रयोग उद्योगांमध्ये, सेमीकंडक्टर उद्योगात लक्ष्य स्पटरिंग फिल्म्ससाठी सर्वात कठोर गुणवत्ता आवश्यकता आहेत. उच्च-शुद्धता धातू स्पटरिंग लक्ष्ये प्रामुख्याने वेफर उत्पादन आणि प्रगत पॅकेजिंग प्रक्रियेत वापरली जातात. चिप उत्पादनाचे उदाहरण घेतल्यास, आपण पाहू शकतो की सिलिकॉन वेफरपासून चिपपर्यंत, त्याला 7 प्रमुख उत्पादन प्रक्रियांमधून जावे लागते, म्हणजे प्रसार (थर्मल प्रक्रिया), फोटो-लिथोग्राफी (फोटो-लिथोग्राफी), एच (एच), आयन इम्प्लांटेशन (आयन इम्प्लांट), पातळ फिल्म ग्रोथ (डायलेक्ट्रिक डिपोझिशन), केमिकल मेकॅनिकल पॉलिशिंग (सीएमपी), मेटलायझेशन (मेटलायझेशन) प्रक्रिया एक-एक करून जुळतात. स्पटरिंग लक्ष्य "मेटलायझेशन" प्रक्रियेत वापरले जाते. पातळ फिल्म डिपॉझिशन उपकरणांद्वारे लक्ष्यावर उच्च-ऊर्जा कणांचा भडिमार केला जातो आणि नंतर सिलिकॉन वेफरवर विशिष्ट कार्यांसह धातूचा थर तयार केला जातो, जसे की प्रवाहकीय थर, अडथळा थर. थांबा. संपूर्ण अर्धवाहकांच्या प्रक्रिया वेगवेगळ्या असल्याने, सिस्टम योग्यरित्या अस्तित्वात आहे की नाही हे पडताळण्यासाठी काही अधूनमधून परिस्थिती आवश्यक असते, म्हणून आम्ही उत्पादनाच्या काही टप्प्यांवर परिणामांची पुष्टी करण्यासाठी काही प्रकारच्या बनावट सामग्रीची मागणी करतो.
पोस्ट वेळ: जानेवारी-१७-२०२२