תמיכת פרוסות גרפיט בתהליך PECVD של VET Energy היא חומר מתכלה ליבה המיועד לתהליך PECVD (שיקוע כימי אדים משופר בפלזמה). מוצר זה עשוי מחומר גרפיט בעל טוהר גבוה וצפיפות גבוהה, בעל עמידות מצוינת לטמפרטורה גבוהה, עמידות בפני קורוזיה, יציבות ממדית ומאפיינים נוספים, ויכול לספק פלטפורמת תמיכה יציבה לתהליך PECVD, כדי להבטיח אחידות ושטיחות של שיקוע הסרט.
עיצוב "תמיכת הגרפיט" של תמיכת פרוסות הגרפיט של VET Energy יכול לא רק לתמוך ביעילות בפרוסות, אלא גם לספק יציבות תרמית בסביבת PECVD בטמפרטורה גבוהה ובלחץ גבוה כדי להבטיח את יציבות התהליך.
לתמיכה של פרוסות גרפיט בתהליך PECVD של VET Energy יש את המאפיינים הבאים:
▪טוהר גבוה:תכולת טומאה נמוכה במיוחד, למנוע זיהום של הסרט, כדי להבטיח את איכות הסרט.
▪צפיפות גבוהה:צפיפות גבוהה, חוזק מכני גבוה, יכול לעמוד בטמפרטורה גבוהה ובסביבת PECVD בלחץ גבוה.
▪יציבות ממדית טובה:שינויים ממדיים קטנים בטמפרטורה גבוהה כדי להבטיח את יציבות התהליך.
▪מוליכות תרמית מעולה:להעביר חום ביעילות כדי למנוע התחממות יתר של פרוסות.
▪עמידות חזקה בפני קורוזיה:מסוגל לעמוד בפני שחיקה על ידי גזים קורוזיביים שונים ופלזמה.
▪שירות מותאם אישית:ניתן להתאים אישית שולחנות תמיכה מגרפיט בגדלים וצורות שונים בהתאם לצורכי הלקוח.
חומר גרפיט מבית SGL:
| פרמטר טיפוסי: R6510 | |||
| מַדָד | תקן בדיקה | עֵרֶך | יְחִידָה |
| גודל גרגר ממוצע | תקן ISO 13320 | 10 | מיקרומטר |
| צפיפות בתפזורת | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | גרם/סמ"ר3 |
| נקבוביות פתוחה | DIN66133 | 10 | % |
| גודל נקבוביות בינוני | DIN66133 | 1.8 | מיקרומטר |
| חֲדִירוּת | דין 51935 | 0.06 | סמ"ר/שנייה |
| קשיות רוקוול HR5/100 | דין IEC60413/303 | 90 | HR |
| התנגדות חשמלית ספציפית | DIN IEC 60413/402 | 13 | מיקרואוהם |
| חוזק כיפוף | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| חוזק דחיסה | דין 51910 | 130 | MPa |
| מודול יאנג | דין 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| התפשטות תרמית (20-200 ℃) | דין 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| מוליכות תרמית (20℃) | דין 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
הוא תוכנן במיוחד לייצור תאים סולאריים ביעילות גבוהה, ותומך בעיבוד פרוסות סולאריות גדולות מסוג G12. תכנון אופטימלי של נשא מגדיל משמעותית את התפוקה, ומאפשר שיעורי תפוקה גבוהים יותר ועלויות ייצור נמוכות יותר.
| פָּרִיט | סוּג | מספר ופלים נושאי |
| סירת גרפיט PEVCD - סדרת 156 | סירת גרפיט 156-13 | 144 |
| סירת גרפיט 156-19 | 216 | |
| סירת גרפיט 156-21 | 240 | |
| סירת גרפיט 156-23 | 308 | |
| סירת גרפיט PEVCD - סדרת 125 | סירת גרפיט 125-15 | 196 |
| סירת גרפיט 125-19 | 252 | |
| סירת גרפיט 125-21 | 280 |
